スーパーグリーンプロダクツ認定制度

SCREENグループでは、当社独自の評価基準をクリアした製品を「グリーンプロダクツ」として認定し、環境性能の高い製品の販売拡大に努めています。製品のエネルギー消費量の最小化を図るとともに、「省エネルギー」「省資源」「分解性」「再資源化」「環境保全性・安全性」「情報の提供」の各項目を5段階で評価しています。評価項目には、排気や純水、窒素ガスなどのユーティリティーが消費するエネルギーの電力換算値を含んでいます。これは「SEMI S23」注1の「等価エネルギー」の考え方に沿ったものです。また、販売した製品の使用によるGHG排出量の削減を一層加速させるため、より優れた省エネルギー性能を備えた「スーパーグリーンプロダクツ」認定制度の運用を開始し、その基準を満たす製品の開発に注力しています。

注1:半導体製造装置の省エネルギー・省資源・省資源ガイド。「SEMI S23」の基本的な手法は、装置が年間に使用する電力・純水・排気などのユーティリティーの使用量を等価エネルギー(kWh)換算し、エネルギー使用総量を算出します。ユーティリティーごとに優先順位を付け、エネルギー使用総量削減を図ります。

 スーパーグリーンプロダクツの売上高占有率

項目 2024年3月期
売上高占有率(%) 0.5%

集計範囲:SPE,GA,FT,PE,SETC

認定基準

スーパーグリーンプロダクツ

●認定基準
グリーンプロダクツの認定基準に加え、2019年3月期の販売製品と比べて、単位処理面積あたりの消費エネルギーを40%以上削減する製品

グリーンプロダクツ

基準同等製品注2に対する新規開発製品の環境性能を評価します。消費エネルギーについては25%以上の削減を基準としています。 
注2:環境アセスメントの基準とした従来製品
●要求事項
「省エネルギー」「省資源」「分解性」「再資源化」「環境保全性・安全性」「情報の提供」(レベル1~5の段階で評価)
●認定基準
全ての要求事項がレベル2(従来製品と同等)以上、かつ、以下の基準①~③のいずれかを満たす製品
基準①  要求事項の平均点がレベル3以上
基準②「省エネルギー」「省資源」「環境保全性・安全性」のいずれかがレベル4以上
基準③「消費エネルギーを25%以上削減」「消耗材料の使用量を25%以上削減」「グリーン調達率100%」のいずれかを達成

認定状況

半導体製造装置事業

製品情報

スーパーグリーンプロダクツ

 
  認定製品

2024年3月期

​​​​​su-3400.png

枚葉式洗浄装置
SU-3400

rf-300ex.png

コーターデベロッパー
RF-300EX

グリーンプロダクツ

  認定製品
2024年3月期 枚葉式洗浄装置 SP-2100
2023年3月期 パターン付きウェーハ外観検査装置 ZI-3600
2021年3月期 光干渉式膜厚測定装置 VM-2500
2018年3月期 フラッシュランプアニール装置 LA-3100
2017年3月期 スピンスクラバ SS-80EX
枚葉式洗浄装置 SU-3300
2015年3月期 半導体後工程用直接描画装置 DW-3000
2014年3月期 コータ・デベロッパ DT-3000
枚葉式洗浄装置 SU-2000
2013年3月期 スピンスクラバ SS-3200
コータ・デベロッパ SK-80EX
コータ・デベロッパ SK-60EX
2012年3月期 枚葉式洗浄装置 SU-3200

コンパクトウェットステーション CW-1500

グラフィックアーツ機器事業

製品情報

グリーンプロダクツ

  認定製品
2024年3月期 PleteRite HD 8900NII Z/S/E
Multi Conveyer AT-M8001N
2022年3月期 Truepress LABEL 350UV SAI LM
2021年3月期 Truepress JET 520HD mono
Truepress LABEL 350UV SAI S/E
UV inkjet printing system AT-i2000UV
PlateRite Ultima 40000N/-Z/S/E
2020年3月期 PlateRite Ultima 24000N-Z/S
Truepress JET 520HD AD
PlateRite FX1524N
PlateRite FX870N-S/E
2019年3月期 PlateRite 8600NⅡ-Z/S/E
2018年3月期 PlateRite Ultima 16000N-Z/E
Truepress Jet L350UV+/+LM
2017年3月期 Truepress Jet520ZZ Advanced
PlateRite HD 8900N-Z/S/E
Truepress JET 520NX
2016年3月期 PlateRite 4600Z/S/E
2015年3月期 PlateRite 16000N
Truepress JET 520HD
2014年3月期 PlateRite 8600MⅡ-SA/ZA
2013年3月期 PlateRite 8600MⅡ-S
2012年3月期 Truepress Jet520ZZ

ディスプレー製造装置および成膜装置事業

製品情報

グリーンプロダクツ

  認定製品
2023年3月期 コータ・デペロッパ SK-2250G
2021年3月期 コータ・デベロッパ SK-F1500H
2020年3月期 コータ・デベロッパ SK-N1500H
2019年3月期 コータ・デベロッパ SK-3033G
塗工乾燥装置 RT-T700F
2018年3月期 コータ・デベロッパ SK-E1500G
コータ・デベロッパ SK-E1500H
2014年3月期

スリット式塗布装置マルチコータ LC-M1300G 

2013年3月期

コータ・デベロッパ SK-N1500G

2012年3月期 コータ・デベロッパ SK-2200G
コータ・デベロッパ SK-N1300G

プリント基板関連機器事業

製品情報

スーパーグリーンプロダクツ

 
  認定製品

2021年3月期

​​​​​vt-7.png

目視確認ステーション VT-7

グリーンプロダクツ

  認定製品
2022年3月期 直接描画装置 Ledia 7
直接描画装置 Ledia Twin
2020年3月期 最終外観検査装置 FP-9200F
最終外観検査装置 FP-9200S
2017年3月期 直接描画装置 Ledia 6 SS/SP/SM/FS/FP/FM
光学式外観検査装置 MIYABI 7

製品情報

スーパーグリーンプロダクツ

 
  認定製品

2024年3月期

​​​​​levina.png

直接描画装置 LeVina

細胞関連

製品情報

スーパーグリーンプロダクツ

 
  認定製品

2024年3月期

​​​​​cell3imagernx.png

2D/3D培養対応
細胞形態解析イメージャー Cell3iMager NX