グリーンプロダクツ
グリーンプロダクツの販売拡大
SCREENグループでは、お客さまの工場稼働におけるCO2排出量の削減に貢献できるよう、当社独自の評価基準をクリアした製品を「グリーンプロダクツ」として認定し、環境性能の高い製品の販売拡大に努めています。製品のエネルギー消費量の最小化を図るとともに、「省エネルギー」「省資源」「分解性」「再資源化」「環境保全性・安全性」「情報の提供」の各項目を5段階で評価しています。評価項目には、排気や純水、窒素ガスなどのユーティリティーが消費するエネルギーの電力換算値を含んでいます。これは「SEMI S23」注1の「等価エネルギー」の考え方に沿ったものです。また、販売した製品の使用によるCO2排出量の削減を一層加速させるため、より優れた省エネルギー性能を備えた「スーパーグリーンプロダクツ」認定制度の運用を開始し、その基準を満たす製品の開発に注力しています。
注1:半導体製造装置の省エネルギー・省資源・省資源ガイド。「SEMI S23」の基本的な手法は、装置が年間に使用する電力・純水・排気などのユーティリティーの使用量を等価エネルギー(kWh)換算し、エネルギー使用総量を算出します。ユーティリティーごとに優先順位を付け、エネルギー使用総量削減を図ります。
■グリーンプロダクツの売上高占有率
● グリーンプロダクツの認定製品数／売上高占有率
認定基準
■グリーンプロダクツ
基準同等製品注2に対する新規開発製品の環境性能を評価します。消費エネルギーについては25％以上の削減を基準としています。
注2:環境アセスメントの基準とした従来製品
●要求事項
「省エネルギー」「省資源」「分解性」「再資源化」「環境保全性・安全性」「情報の提供」（レベル１～５の段階で評価）
●認定基準
全ての要求事項がレベル２（従来製品と同等）以上、かつ、以下の基準①～③のいずれかを満たす製品
基準① 要求事項の平均点がレベル３以上
基準②「省エネルギー」「省資源」「環境保全性・安全性」のいずれかがレベル４以上
基準③「消費エネルギーを25％以上削減」「消耗材料の使用量を25％以上削減」「グリーン調達率100％」のいずれかを達成
■スーパーグリーンプロダクツ
●認定基準
グリーンプロダクツの認定基準に加え、2019年3月期の販売製品と比べて、単位処理面積あたりの消費エネルギーを40％以上削減する製品
グリーンプロダクツ認定の状況
半導体製造装置事業
半導体製造装置事業| 認定製品 | 認定基準① | 認定基準② | 認定基準③ | |
| 2023年3月期 | パターン付きウェーハ外観検査装置 ZI-3600 | ○ | ○ | ○ |
| 2021年3月期 | 光干渉式膜厚測定装置 VM-2500 | ○ | ○ | ○ |
| 2018年3月期 | フラッシュランプアニール装置 LA-3100 |
○ | ○ | ○ |
| 2017年3月期 | スピンスクラバ SS-80EX | ○ | ○ | |
| 枚葉式洗浄装置 SU-3300 | ○ | |||
| 2015年3月期 | 半導体後工程用直接描画装置 DW-3000 |
○ | ○ | ○ |
| 2014年3月期 | コータ・デベロッパ DT-3000 | ○ | ○ | ○ |
| 枚葉式洗浄装置 SU-2000 | ○ | ○ | ||
| 2013年3月期 | スピンスクラバ SS-3200 | ○ | ○ | ○ |
| コータ・デベロッパ SK-80EX | ○ | ○ | ||
| コータ・デベロッパ SK-60EX | ○ | ○ | ||
| 2012年3月期 | 枚葉式洗浄装置 SU-3200 | ○ | ○ | ○ |
|
コンパクトウェットステーション |
○ | ○ | ○ |
グラフィックアーツ機器事業
| 認定製品 | 認定基準① | 認定基準② | 認定基準③ | |
| 2022年3月期 | Truepress LABEL 350UV SAI LM | ○ | ○ | |
| 2021年3月期 | Truepress JET 520HD mono | ○ | ○ | ○ |
| Truepress LABEL 350UV SAI S/E | ○ | ○ | ||
| UV inkjet printing system AT-i2000UV |
○ | ○ | ||
| PlateRite Ultima 40000N/-Z/S/E | ○ | ○ | ||
| 2020年3月期 | PlateRite Ultima 24000N-Z/S | ○ | ○ | ○ |
| Truepress JET 520HD AD | ○ | ○ | ○ | |
| PlateRite FX1524N | ○ | ○ | ||
| PlateRite FX870N-S/E | ○ | ○ | ||
| 2019年3月期 | PlateRite 8600NⅡ-Z/S/E | ○ | ○ | |
| 2018年3月期 | PlateRite Ultima 16000N-Z/E | ○ | ○ | |
| Truepress Jet L350UV+/+LM | ○ | ○ | ○ | |
| 2017年3月期 | Truepress Jet520ZZ Advanced | ○ | ||
| PlateRite HD 8900N-Z/S/E | ○ | ○ | ||
| Truepress JET 520NX | ○ | ○ | ○ | |
| 2016年3月期 | PlateRite 4600Z/S/E | ○ | ○ | |
| 2015年3月期 | PlateRite 16000N | ○ | ○ | ○ |
| Truepress JET 520HD | ○ | ○ | ||
| 2014年3月期 | PlateRite 8600MⅡ-SA/ZA | ○ | ○ | ○ |
| 2013年3月期 | PlateRite 8600MⅡ-S | ○ | ○ | ○ |
| 2012年3月期 | Truepress Jet520ZZ | ○ | ○ | ○ |
ディスプレー製造装置および成膜装置事業
| 認定製品 | 認定基準① | 認定基準② | 認定基準③ | |
| 2023年3月期 | コータ・デペロッパ SK-2250G | ○ | ○ | ○ |
| 2021年3月期 | コータ・デベロッパ SK-F1500H | ○ | ||
| 2020年3月期 | コータ・デベロッパ SK-N1500H | ○ | ○ | ○ |
| 2019年3月期 | コータ・デベロッパ SK-3033G | ○ | ○ | ○ |
| 塗工乾燥装置 RT-T700F | ○ | ○ | ○ | |
| 2018年3月期 | コータ・デベロッパ SK-E1500G | ○ | ○ | ○ |
| コータ・デベロッパ SK-E1500H | ○ | ○ | ○ | |
| 2014年3月期 |
スリット式塗布装置マルチコータ |
○ | ○ | ○ |
| 2013年3月期 |
コータ・デベロッパ SK-N1500G |
○ | ○ | ○ |
| 2012年3月期 | コータ・デベロッパ SK-2200G | ○ | ○ | ○ |
| コータ・デベロッパ SK-N1300G | ○ | ○ | ○ |
プリント基板関連機器事業
| 認定製品 | 認定基準① | 認定基準② | 認定基準③ | |
| 2022年3月期 | 直接描画装置 Ledia 7 | ○ | ○ | ○ |
| 直接描画装置 Ledia Twin | ○ | ○ | ||
| 2021年3月期 | 目視確認ステーション VT-7* *スーパーグリーンプロダクツ |
○ | ○ | ○ |
| 2020年3月期 | 最終外観検査装置 FP-9200F | ○ | ○ | |
| 最終外観検査装置 FP-9200S | ○ | |||
| 2017年3月期 | 直接描画装置 Ledia 6 SS/SP/SM/FS/FP/FM | ○ | ○ | ○ |
| 光学式外観検査装置 MIYABI 7 | ○ | ○ | ○ | |
| 2015年3月期 | 目視確認ステーション VT-2000F | ○ | ○ | |
| フォトマスク検査装置 MI-9700 | ○ | ○ | ○ | |
| 光学式外観検査装置 PI-9200F | ○ | ○ | ○ | |
| 光学式外観検査装置 PI-9200H | ○ | ○ | ○ | |
| 光学式外観検査装置 PI-9200S | ○ | ○ | ○ | |
| 光学式外観検査装置 PI-9400 | ○ | ○ | ○ | |
| 光学式外観検査装置 PI-9700 | ○ | ○ | ○ | |
| 2014年3月期 | 最終外観検査装置 FP-9000 | ○ | ○ | |
| 直接描画装置 Ledia 5F | ○ | ○ | ||
| 目視確認ステーション VT-2000H | ○ | ○ | ||
| 2013年3月期 | 直接描画装置 Ledia 5S | ○ | ||
| 2012年3月期 | 最終外観検査装置 FP-8200AL | ○ | ||
| ワークサイズ外観検査装置 WI-8500 | ○ | ○ | ||
| プリント基板直接描画装置 LI-9700 | ○ |