グリーンプロダクツの販売拡大

SCREENグループでは、当社独自の評価基準をクリアした製品を「グリーンプロダクツ」として認定し、環境性能の高い製品の販売拡大に努めています。お客さまの工場で省エネルギーがますます求められている中、2011年3月期に製品環境アセスメント基準を見直し、評価項目に排気や純水、窒素ガスなどのユーティリティーが消費するエネルギーの電力換算値を追加しました。これは「SEMI S23」注1の「等価エネルギー」の考え方に沿ったものです。また製品環境アセスメント評価を実施することで製品のエコプロファイル(当社基準)が作成できるように改善しています。
2019年3月期は、グリーンプロダクツの売上高が全売上高の94%に達しています。
注1:半導体製造装置で使用されるエネルギー、ユーティリティー、材料の効率使用のためのガイド。「SEMI S23」の基本的な手法は、装置が年間に使用する電力・純水・排気などのユーティリティーの使用量を等価エネルギー(kWh)換算し、エネルギー使用総量を算出します。ユーティリティーごとに優先順位を付け、エネルギー使用総量削減を図ります。

■グリーンプロダクツの売上高占有率

グリーンプロダクツの認定基準

基準同等製品注2に対する新規開発製品の環境性能を評価します。使用エネルギーについては25%以上の削減を基準としています。
注2:環境アセスメントの基準とした従来製品

■グリーンプロダクツの認定基準

●要求事項
「省エネルギー」「省資源」「分解性」「再資源化」「環境保全性・安全性」「情報の提供」(レベル1~5の段階で評価)

●認定基準
全ての要求事項がレベル2(従来製品と同等)以上、かつ、以下の基準①~③のいずれかを満たすもの
基準①要求事項の平均点がレベル3以上
基準②「省エネルギー」「省資源」「環境保全性・安全性」のいずれかがレベル4以上
基準③「使用エネルギーを25%以上削減」「消耗材料の使用量を25%以上削減」「グリーン調達率100%」のいずれかを達成

グリーンプロダクツの評価

基準同等製品注2に対する対象製品の環境性能を評価しています。


注2:環境アセスメントの基準とした従来製品

各事業の取り組み

半導体製造装置事業

グリーンプロダクツ認定の状況

年度 認定製品 消費エネルギー削減率
(性能基準)注1
2017 フラッシュランプアニール装置 LA-3100 33%
2016 スピンスクラバ SS-80EX 18%
2014 半導体後工程用直接描画装置 DW-3000
2013 コータ・デベロッパ DT-3000 63%
枚葉式洗浄装置 SU-2000 35%
2012 スピンスクラバ SS-3200 60%
コータ・デベロッパ SK-80EX 61%
コータ・デベロッパ SK-60EX 53%
2011 枚葉式洗浄装置 SU-3200 45%
コンパクトウェットステーション CW-1500 27%

注1:製品環境アセスメントの結果より算出

グリーンプロダクツ評価の例

■枚葉式洗浄装置 SU-3200 

枚葉式洗浄装置 使用エネルギー削減の経緯

SEMI 注5S23注6に基づき製品の消費エネルギー量を測定し、算出結果を基にユーティリティーごとに優先順位をつけ、消費エネルギーの削減を進めています。

■枚葉式洗浄装置のエネルギー削減量注7

注5:Semiconductor Equipment and Materials Internationalの略。半導体、ディスプレー、ナノスケール構造、MEMS、そのほか関連技術の製造に使用される装置、材料、サービスを提供している企業の国際的な工業会。
注6:半導体製造装置で消費されるエネルギー、ユーティリティー、および材料の保全のためのガイド。
注7:2001年3月期を100%と想定し、1年あたりの消費エネルギーをウエハー当たりの面積換算で比較したもの。

グラフィックアーツ機器事業

グリーンプロダクツ認定の状況

年度 認定製品 消費エネルギー削減率
(性能基準)
比較製品
2018 CTP PlateRite 8600NⅡ-Z/S/E 53% PlateRite 8600N-Z/S/E
2017 CTP PlateRite Ultima 16000N-Z/E 33% PlateRite Ultima 16000N/16000II-E
デジタル印刷機 Truepress Jet L350UV+/+LM 43% Truepress Jet L350UV
2016 デジタル印刷機 Truepress Jet520ZZ Advanced 37% Truepress Jet520ZZ
CTP PlateRite HD 8900N-Z/S/E 31% PlateRite HD 8900Z/S/E
デジタル印刷機 Truepress Jet520NX 37% Truepress Jet520
2015 CTP PlateRite 4600Z/S/E 73% PlateRite 43000Z/S/E
2014 CTP PlateRite 16000N 63% PlateRite 16000Ⅱ
デジタル印刷機 Truepress Jet520HD 70% Truepress Jet520
2013 CTP PlateRite 8600MⅡ-SA/ZA 20% PlateRite 8600SL+ビルトインブリッジ
2012 CTP PlateRite 8600MⅡ-S 20% PlateRite 8600M-S
2011 デジタル印刷機 Truepress Jet520ZZ 15% Truepress Jet520
デジタル印刷機 Truepress JetSX Truepress 344N

グリーンプロダクツ評価の例

■デジタル印刷機 Truepress Jet520NX 

CTP PlateRite 8600シリーズの環境対応

PlateRite8600シリーズの消費電力変遷(当社規定)

環境への配慮

SCREENでは、製品開発時のデザインレビューとして「製品環境アセスメント」を実施しています。PlateRite8600NⅡシリーズでも、エネルギー消費を抑え、安全性や環境配慮を最優先した開発を進めています。

  • 稼働時電力を約60%削減
  • 非動作時の消費電力を抑える「省エネルギーモード」を搭載
  • 待機電力を約73%削減(省エネルギーモード時)
  • 各社ケミカルレスプレートに対応
  • 基準パンチレス方式の採用により、ランニングコストを削減

※消費電力は使用環境などの外的要因にも左右されるため、上記の数値を保証するものではありません。
PlateRite8600とPlateRite8600NⅡ-Zの比較。単体使用時。
2400dpiで、1,030×800㎜感材を露光した場合。

ディスプレー製造装置および成膜装置事業

グリーンプロダクツ認定の状況

年度 認定製品 消費エネルギー削減率
(性能基準)
比較製品
2012 コータデベロッパ SK-N1500G 10% SK-1500G
2011 コータデベロッパ SK-2200G(LL) 56% SK-2200G(LC)
コータデベロッパ SK-1300G(LC) 58% SK-750G(LC)

グリーンプロダクツ評価の例

■コータ/デベロッパ SK-N1500G 

ディスプレー製造装置 コータ・デベロッパSKシリーズの環境対応

製造工程での省資源、省エネルギー化を追求し、環境にやさしいディスプレーづくりを支えています。新規装置にも環境技術を積極的に展開していきます。

注1:液晶ディスプレーの構成部品の一つであるガラス基板に均一にレジストを塗布して高精細TFTパターンを形成する装置。
注2:数値は初期モデルと最新モデルの性能当たりの比較(単位処理面積あたりの生産性から算出)。

プリント基板関連機器事業

グリーンプロダクツ認定の状況

年度 認定製品 消費エネルギー削減率 (性能基準) 比較製品
2016 直接描画装置 Ledia 6 SS/SP/SM/FS/FP/FM 28~38% Ledia5
光学式外観検査装置 MIYABI 7 58% PI-9200H
2014 目視確認ステーション VT-2000F VT-2000
フォトマスク検査装置 MI-9700 87% MI-8500
光学式概観検査装置 PI-9200F 75% PI-8300
光学式概観検査装置 PI-9200H 34% PI-9000
光学式概観検査装置 PI-9200S 60% PI-8300
光学式概観検査装置 PI-9400 79% PI-8400
光学式概観検査装置 PI-9700 76% PI-8500
2013 最終外観検査装置 FP-9000 FP-8200AL
直接描画装置 Ledia 5F 58~62% LI-9700
目視確認ステーション VT-2000H VT-2000
2012 直接描画装置 Ledia 5S 62~72% LI-9200
2011 最終外観検査装置 FP-8200AL FP-8000AL
ワークサイズ外観検査装置 WI-8500 68% WI-8000
プリント 基板直接描画装置 LI-9700W 70% LI-8500

グリーンプロダクツ評価の例

■直接描画装置 Ledia6FM 

プリント基板関連機器事業

直接描画装置 Lediaの環境対応

「Ledia5」は、一般社団法人 日本機械工業連合会主催の2016年「第36回優秀省エネルギー機器表彰」において、「日本機械工業連合会会長賞」を受賞しました。業界における水銀ランプへの規制が予測される中、環境に配慮するため、従来の直接描画装置の光源に使用していた超高圧水銀ランプを、当社独自開発光学系によるUV-LED(紫外線LED)に変更。光源の寿命を約8倍に延ばし、光源の交換頻度と交換部材の資源を大幅に削減しました。