目視確認ステーション VT-7
・当社製検査装置の検査結果を基に、高分解能ズームレンズと高精細CMOSカメラにより欠陥画像を鮮明に拡大表示
・同時にマスター画像や欠陥マップなども参照でき、視認性や作業効率をが大きく向上
特長
- 自動調光機能
基板や欠陥の種類に応じたズーム倍率と照明の光量値をレシピ登録することで常に最適な光量で欠陥確認が可能です。
- 自動アライメントマーク登録機能
自動的にアライメントマーク位置へ移動しマーク登録を行います。手動での登録が不要となるため、検査工程のスループット向上を実現しています。
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豊富な補助機能
ユーザが決めた欠陥種別名による欠陥分類集計機能、特定重要ポイントの登録やスキップ機能搭載で効率良く見逃しのない欠陥確認が可能。測長機能も搭載し線幅やランド径、ビア径を簡単に測定することも可能です。