タッチパネルソリューション事業
静電容量式タッチセンサー(フィルム型)製造プロセス
※感光性Agを使用するケース
パターン設計・データ編集 |
CAMシステムでITOパターンのデザインや引き出し線部(ベゼルエリア)の回路パターンなどの設計データを作成します。 ● セットアップステーション CU-9000 |
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ITOフィルム加工 |
タッチセンサーのベースとなるフィルムに、ITOなどの透明電極膜をスパッタします。 |

ITOパターン形成 |
タッチした座標をセンシングさせるための、ITOのデザインパターンを形成します。 |
直接露光 パターン直接露光
● 直接描画装置 Ledia |
フォトマスク使用 フォトマスク作成
![]() フォトマスク検査
![]() パターン露光
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現像・エッチング・剥離 |
フォトレジストを現像後、薬液を用いてITO膜のエッチングを行い、不要となったフォトレジストを剥離します。 |
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引き出し線部(ベゼルエリア)回路パターン形成 |
ビューエリアからプリント基板への導線として、より抵抗値の低い金属(感光性銀ペースト)を用いて引き出し線回路パターンを形成します。 |
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直接露光 パターン直接露光
● 直接描画装置 Ledia
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フォトマスク使用 フォトマスク作成 フィルムまたはガラス上にパターンをプロットし、露光用のフォトマスクを作成します。 ![]() フォトマスク検査 フォトマスクの伸び縮みや、フォトマスク上のパターンの線幅などを測定するとともに、欠陥がないかを検査します。 ![]() パターン露光 フォトレジストがラミネートされたITOフィルムの表面に、フォトマスクを介してITOのデザインパターンを露光します。 |

現像・焼成 |
引き出し線回路パターンを現像し、加熱によってITOフィルムへの密着性を持たせます。 |
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回路パターン検査 |
引き出し線回路に欠陥がないか、外観を検査します。 |
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保護層の形成・ITOフィルムの貼合せ(GFFの場合) |
保護剤の塗布またはSiO2などをスパッタし、保護層を形成します。 |

プリント基板との接続 |
プリント基板との接続を行い、センサーを完成させます。 |