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製品情報

塗布・塗工、コータシステム

コータ・デベロッパ、コータシステム

TFTアレイ工程用
SKシリーズ
LTPS-TFT工程（高精細対応）用
SK-Nシリーズ
有機ELバックプレーン工程用
SK-Eシリーズ
タッチセンサパネル工程用
SK-EHシリーズ
有機EL用カラーフィルター膜（反射防止膜）形成工程用
SK-Fシリーズ
フレキシブルディスプレー用 ポリイミド膜形成工程用
SK-Pシリーズ

スリット式塗布装置

半導体パッケージ製造工程用
LC-M550G/750G
多用途対応
マルチコータ　LC-Mシリーズ
実験・試作用
リサーチコータ　LC-R300G/400G

ロールtoロール塗工乾燥装置

リチウムイオン電池製造工程用
RT-700F/RT-T700F
実験・試作用
RT-R350F

真空成膜

LIATMプラズマ搭載装置

プラズマCVD装置
VC-R400G/F
スパッタ装置
VS-R400G/F
低インダクタンスアンテナLIATM（プラズマ源）について

EB蒸着システム

枚葉式EB蒸着システム
IBADシリーズ

ウェット処理

洗浄装置
TSシリーズ
ウェットエッチング装置
TEシリーズ
レジスト剥離装置
TRシリーズ
レジスト現像装置
TDシリーズ

乾燥・焼成

ホットプレート焼成装置
減圧乾燥装置
VA-R400G

露光

露光装置
MA-1000シリーズ

貼付け・貼合せ

ロール式貼り合せ装置
RL-500F
枚葉式貼り合せ装置
SL-1000G

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