塗布・塗工、コーターシステム

枚葉式

ロールtoロール方式

真空成膜

CVD

スパッタ

EB蒸着システム

ドライエッチング装置

ウェット処理

枚葉式洗浄装置

枚葉式現像装置

枚葉式エッチング装置

枚葉式剥離装置

乾燥・焼成

ホットプレート

減圧乾燥

露光

プロキシミティ露光装置

貼付け・貼合せ

ロールtoシート方式

枚葉式