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製品情報

塗布・塗工、コーターシステム

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ロールtoロール塗工乾燥装置
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真空成膜

CVD

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スパッタ

枚葉式スパッタ装置
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ドライエッチング装置

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ウェット処理

枚葉式洗浄装置

枚葉式洗浄装置
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枚葉式現像装置

枚葉式現像装置
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枚葉式エッチング装置

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枚葉式剥離装置

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TRシリーズ

乾燥・焼成

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減圧乾燥

手動式減圧乾燥装置
VA-R400G

露光

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MAシリーズ
手動式露光装置
MA-1000シリーズ

貼付け・貼合せ

ロールtoシート方式

ロールtoシート貼り合せ装置
RL-500F

枚葉式

枚葉式貼り合せ/メカニカル剥離装置
SL-1000G

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