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製品情報

塗布・塗工、コーターシステム

枚葉式

枚葉式塗布現像装置
SKシリーズ
枚葉式塗布現像装置
SK-Nシリーズ
枚葉式塗布現像装置
SK-Eシリーズ
フレキシブルディスプレー用PIコーターライン
SK-Pシリーズ
枚葉式塗布装置
LFシリーズ
枚葉式塗布装置
マルチコータ LC-Mシリーズ
枚葉式塗布装置
マルチコータ LC-M550G
手動式塗布装置
リサーチコータ LC-R300G／400G

ロールtoロール方式

ロールtoロール塗工乾燥装置
RT-700F／RT-T700F
ロールtoロール塗工乾燥装置
RT-350M/RT-B350M
ロールtoロール塗工乾燥装置
RT-R350F

真空成膜

CVD

枚葉式プラズマCVD装置
VCシリーズ
手動式プラズマCVD装置
VC-R400G／F

スパッタ

枚葉式スパッタ装置
VSシリーズ
バッチ式スパッタ装置
STP-1650
手動式スパッタ装置
VS-R400G／F

EB蒸着システム

枚葉式EB蒸着システム
IBADシリーズ

ドライエッチング装置

手動式ドライエッチング装置
VE-R400G

ウェット処理

枚葉式洗浄装置

枚葉式洗浄装置
TSシリーズ

枚葉式現像装置

枚葉式現像装置
TDシリーズ

枚葉式エッチング装置

枚葉式ウェットエッチング装置
TEシリーズ

枚葉式剥離装置

枚葉式レジスト剥離装置
TRシリーズ

乾燥・焼成

ホットプレート

ホットプレート焼成装置

減圧乾燥

手動式減圧乾燥装置
VA-R400G

露光

プロキシミティ露光装置

枚葉式自動精密露光装置
MAシリーズ
手動式露光装置
MA-1000シリーズ

貼付け・貼合せ

ロールtoシート方式

ロールtoシート貼り合せ装置
RL-500F

枚葉式

枚葉式貼り合せ/メカニカル剥離装置
SL-1000G

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