枚葉式塗布現像装置SK-Eシリーズ

世界トップシェアの液晶ディスプレー用コーターデベロッパーで長年培ったノウハウをもとに、有機ELパネルの製造に特化した製品を開発しました。

有機ELバックプレーン製造工程用コーターデベロッパー「SK-E1500G」
タッチセンサーパネル(TSP)製造工程用コーターデベロッパー「SK-E1500H」

特長

線幅/線間隔(L/S)1.5um以下プロセスに対応するため、以下の技術を確立。

  1. ミニエンバイロメント構造によるパーティクル抑制。
  2. 導電部材、浮上搬送の採用やイオナイザの最適配置によるESD抑制。
  3. 浮上搬送コータ「レビコータ™」は2ノズル搭載可能、有機EL製造プロセスで必要な複数のレジスト対応を容易化。
  4. SK-E1500Hは、G6ハーフ基板の2枚同時処理が可能。生産効率の向上に寄与。

仕様

対応基板サイズ
SK-E1500G:1,500 x 1,850mm(G6)
SK-E1500H:1,500 x   925 mm (G6ハーフ)

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