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2024.06.25
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有機ELバックプレーンのブラックPDL形成工程に対応した塗布現像装置を発売
2023.12.05
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半導体先端パッケージ専用の塗布乾燥装置「Lemotia」を開発
2022.12.20
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フレキシブルディスプレー用基板製造に対応した塗布乾燥装置の新製品を発売
2022.10.18
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第8世代基板に対応した有機ELディスプレー製造装置を発売
2022.09.22
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台湾・AUO社から 「Excellent Equipment Partners Award」を受賞
2022.04.06
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脱炭素・水素社会に向け、燃料電池部材「MEA」の量産事業を開始
2022.04.01
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フレキシブル有機ELディスプレー製造プロセスを掲載
2021.10.06
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経済産業省の「ゼロエミ・チャレンジ企業」に選定
2020.11.12
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有機ELディスプレーのフォルダブル・ローラブル化に対応したカラーフィルター膜形成工程用の塗布現像装置を開発
2019.03.19
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第10.5世代ガラス基板対応のコーターデベロッパー「SK-3033G」を重点顧客に納入
2019.01.16
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