株式会社SCREENファインテックソリューションズはこのほど、画面を折り畳んだり（フォルダブル）、巻いたり（ローラブル）することが可能なフレキシブル有機ELディスプレー（OLED）に対応した、反射防止機能を持つカラーフィルター（CF）膜形成工程用の塗布現像装置「SK-F1500H」を開発。OLEDパネルの歩留まり向上に貢献する同装置の販売を開始します。 

近年、OLEDはモバイル端末用を中心に、フォルダブル化やローラブル化が急速に進んでいます。しかし、複数のフィルムによる積層構造は、折り曲げ部に発生する“しわ”の原因の一つといわれており、フィルム数の削減が課題となっています。そのため、複層フィルム構造の円偏光板に代わり、フィルム数を削減できるとともに高い透過率を持ち、省電力でディスプレーの長寿命化も期待できる、反射防止機能を持つCF膜の採用が進められています。 

このような動向を背景に当社は、OLEDパネルの製造に特化した塗布現像装置における豊富な実績を生かし、OLED向けCF膜形成工程用の塗布現像装置「SK-F1500H」を開発しました。この装置は、OLEDの発光層が形成された基板にCF膜を形成するプロセスに対応するもので、CF膜の塗布から現像までの一貫ラインによる効率的な処理を実現します。塗布部には、浮上搬送方式を採用したスリット式塗布装置「レビコータ™」を搭載。さらに、当社独自の基板搬送技術により、第6世代のハーフサイズ基板^※の2枚連続処理を可能にするなど、生産効率の向上に寄与する装置となっています。 

当社は今後も、OLEDパネル用装置のラインアップを拡充し、OLEDパネルの安定した量産に貢献していきます。 

※ 製造工程において、前工程となる蒸着工程で処理できる基板サイズが、最大で第6世代の2分の1となるため。
＊ レビコータ、Levicoaterは株式会社SCREENホールディングスの商標または登録商標です。 

OLEDパネルの製造に特化した装置群

■ フレキシブル基板製造工程用コーターライン「SK-Pシリーズ」 
■ バックプレーン製造工程用塗布現像装置「SK-E1500G」 
■ タッチセンサーパネル製造工程用塗布現像装置「SK-E1500H」 
■ カラーフィルター膜形成工程用塗布現像装置「SK-F1500H」 
　製品紹介ページ：www.screen.co.jp/ft/products/oled 

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