有機ELディスプレーは、赤、緑、青(RGB)からなる光の3原色の有機EL発光層に電流を流すことで発光します。自発光なので、液晶ディスプレーのようにバックライトを必要とせず、薄く、軽く、高画質といった特徴があります。なかでも、ガラスの代わりにポリイミドなどの柔らかい基板を用いたフレキシブル有機ELディスプレーは、曲げたり、折り畳んだりできるため、モバイル端末を中心に需要が拡大しています。

 

フレキシブル基板形成

キャリアガラスにワニスを塗布して熱処理し、フレキシブル基板(ポリイミド、PI)を形成します。
※ワニス:Polyamic acid 溶液(PIの前駆体)
コーターライン (SK-Pシリーズ)
arrow_s.jpg

バックプレーン形成

フレキシブル基板上にTFT(薄膜トランジスタ回路)とバンク(有機発光層用の隔壁)からなるバックプレーンを形成します。

 洗浄

ベースとなる基板上に付着したミクロン単位のパーティクル(ごみ)や有機物を洗浄し、除去します。
洗浄装置(TSシリーズ)

arrow_s.jpg

 成膜

基板上に、回路の素材となる材料の層を薄膜形成(成膜)します。

arrow_s.jpg

 レジスト塗布

レジスト(感光液)をスリットノズルから吐出し、基板上に均一に塗布します。
コーターデベロッパー(SK-Eシリーズ)

arrow_s.jpg

 露光

光を照射し、パターンを焼き付けます。光が当たった部分だけレジスト膜は変質します。

arrow_s.jpg

 現像

光が当たった部分を溶解して薄膜を露出します。
コーターデベロッパー(SK-Eシリーズ)

arrow_s.jpg

 エッチング

レジスト(感光液)に覆われていない薄膜を腐食させて除去し、回路を形成します。
ウエットエッチング装置(TEシリーズ)

arrow_s.jpg

 剥離

マスクの役目を終えたレジスト膜を除去します。
レジスト剥離装置(TRシリーズ)

 レジスト塗布

レジスト(感光液)をスリットノズルから吐出し、基板上に均一に塗布します。
コーターデベロッパー(SK-Eシリーズ)

arrow_s.jpg

 露光

光を照射し、パターンを焼き付けます。光が当たった部分だけレジスト膜は変質します。

arrow_s.jpg

 現像

光が当たった部分を溶解して薄膜を露出します。
コーターデベロッパー(SK-Eシリーズ)

複数回繰り返し、バックプレーンを形成します。
arrow_s.jpg

有機EL発光層形成

インクジェット印刷により発光層を形成します。
arrow_s.jpg

薄膜封止(TFE)

大気中の水分や酸素から有機発光層を保護するため、蒸着、インクジェット印刷により、封止膜を形成します。
arrow_s.jpg

タッチセンサー形成

TFE層の上にタッチセンサーを形成します。

 洗浄

ベースとなる基板上に付着したミクロン単位のパーティクル(ごみ)や有機物を洗浄し、除去します。
洗浄装置(TSシリーズ)

arrow_s.jpg

 成膜

基板上に、回路の素材となる材料の層を薄膜形成(成膜)します。

 レジスト塗布

レジスト(感光液)をスリットノズルから吐出し、基板上に均一に塗布します。
コーターデベロッパー(SK-EHシリーズ)

arrow_s.jpg

 露光

光を照射し、パターンを焼き付けます。光が当たった部分だけレジスト膜は変質します。

arrow_s.jpg

 現像

光が当たった部分を溶解して薄膜を露出します。
コーターデベロッパー(SK-EHシリーズ)

arrow_s.jpg

 エッチング

レジスト(感光液)に覆われていない薄膜を腐食させて除去し、回路を形成します。
ウエットエッチング装置(TEシリーズ)

arrow_s.jpg

 剥離

マスクの役目を終えたレジスト膜を除去します。
レジスト剥離装置(TRシリーズ)

複数回繰り返し、タッチセンサーを形成します。
arrow_s.jpg

カラーフィルター膜(反射防止機能膜)形成

タッチセンサー上に反射防止機能をもつカラーフィルター(CF)膜を形成します。
コーターデベロッパー(SK-Fシリーズ)
arrow_s.jpg

フレキシブル基板剝離

フレキシブル基板の剥離性をあげる前処理を行った後、剥離(デラミネーション)します。
枚葉式貼り合わせ/メカニカル剥離装置 (SL-1000G)