フレキシブルディスプレー用PIコーターラインSK-Pシリーズ

フレキシブル基板材料のポリイミド膜形成に特化した装置です。大サイズのガラス製支持基板の洗浄~ポリイミド材料塗布~乾燥までを一貫ラインで行うことで、量産での生産性を飛躍的に向上しました。

特長

  1. リニアコータ™」の塗布技術をポリイミド用に最適化し、優れた膜厚均一性を実現。ssimg.jpg
  2. 高粘度ポリイミド用に最適化した配管機構と高耐圧ポンプを搭載。
  3. 独自の泡抜き機構でポリイミド内の気泡を除去し、生産性を向上。

仕様

対応基板サイズ:730x920mm(G4)~1,500x1,850mm(G6)
・パイロットライン用の構成もご提供できます。

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