リニアコータ™は量産用塗布装置として極めて安定した塗布性能を誇るスリットコーター（ダイコータ―）。TFTアレイ用で世界シェアNo.1のコータ・デベロッパSKシリーズなどに搭載されています
- スリット方式の塗布システムにより、レジスト使用効率はほぼ100%
- 自社開発のスリットノズルを搭載し、大型基板でも優れた塗布均一性を実現
- コンパクトで導入しやすい実験・評価用装置もラインアップしています
【塗布方式】
スリットコート法（ダイコート法）
コータ・デベロッパ SKシリーズ
TFTアレイ用で世界シェアNo.1
特長
- TFT量産に適した高生産性
洗浄・現像・コータ・ベーク等の各構成ユニットの他、インラインされる露光装置、検査装置等も含め一貫システム制御。
ユニット間の物流効率を追及し、最大限の生産性を発揮。 - コータ部は、スリット式塗布装置「リニアコータ™」、浮上搬送方式の「レビコータ™ 」から選択できます。
- 塗布ノズルのメンテナンス作業も完全自動化。業界随一の連続稼動を実現しました。
- 省スペース設計なので、限られた生産スペースを有効にご活用いただけます。
- 資源利用効率の徹底追及により進化してきたSKシリーズは、環境にやさしいディスプレー作りを支えます。
【対応基板サイズ】
730x920mm（G4) 以上
スリット式塗布装置 リニアコータ™
省レジストで優れた塗布均一性を実現
スリット式塗布装置 レビコータ™
浮上搬送方式の量産用コータ
レビコータはスリット式塗布装置「リニアコータ™」の塗布技術を浮上搬送方式に展開したスリットコーター（ダイコータ―）。コータ・デベロッパSKシリーズなどに搭載されています
- リニアコータ™の塗布技術を展開した高精度塗布
- 浮上搬送により更なるタクト短縮を実現
- 基板をステージに吸着しないため、基板裏面にパーティクルを巻き込みません
- 基板を浮上移動させるため、静電気を低減
【塗布方式】
スリットコート法（ダイコート法）
【対応基板サイズ】
730 x 920 mm（G4) 以上
※Linearcoater、リニアコータ、Levicoater、レビコータは株式会社SCREENホールディングスの商標または登録商標です。