コータ・デベロッパ SK-Fシリーズ
有機EL用カラーフィルター膜（反射防止膜）形成工程用
画面を折り畳んだり（フォルダブル）、巻いたり（ローラブル）することが可能なフレキシブル有機ELディスプレー（OLED）に対応した、カラーフィルター膜形成工程用の塗布現像装置です。OLED発光層が形成された基板にカラーフィルター膜を形成するプロセスに対応します。
OLEDの製造に対応した製品群「Eシリーズ」における豊富な実績を活かし、OLED製造における課題を解決し、歩留まりの向上を実現します。
特長
- OLED用カラーフィルター膜の塗布～現像までを一貫ラインで処理
- 第6世代ハーフ基板の2枚同時処理で、生産効率の向上に寄与
- 塗布部には浮上搬送方式のスリット式塗布装置「レビコータ™」を搭載し、優れた膜厚均一性を実現
- 塗布ノズルのメンテナンス作業も完全自動化、業界随一の連続稼動を実現しました
- スリット式塗布装置「レビコータ™」は2ノズル搭載可能なので、複数の薬液系統に対応可能（オプション）
- 導電部材、浮上搬送の採用やイオナイザの最適配置によるESD抑制
- 省スペース設計なので、限られた生産スペースを有効にご活用いただけます
- 資源利用効率の徹底追及により進化してきたSKシリーズは、環境にやさしいディスプレー作りを支えます
仕様
| SK-F1500H | ||
| 対応基板サイズ | 第6世代ハーフ基板 1,500x925mm |
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| 塗布部 | スリット式塗布装置「レビコータTM」 | |
| 塗布方式 | スリットコーター（ダイコータ―） | |
有機ELパネル（OLED）の製造に対応した製品群「Eシリーズ」について
※Levicoater、レビコータは株式会社SCREENホールディングスの商標または登録商標です。