塗布現像装置 SK-Fシリーズ
画面を折り畳んだり（フォルダブル）、巻いたり（ローラブル）することが可能なフレキシブル有機ELディスプレー（OLED）に対応した、カラーフィルター膜形成工程用の塗布現像装置です。
OLEDの製造に特化した製品群「Eシリーズ」における豊富な実績を活かし、OLED製造における課題を解決し、歩留まりの向上を実現します。
特長
- OLED用カラーフィルター膜の塗布～現像までを一貫ラインで処理
- OLED発光層が形成された基板にカラーフィルター膜を形成するプロセスに対応
- G6ハーフ基板の2枚連続処理で、生産効率の向上に寄与
・当社独自の基板搬送技術によりG6ハーフ基板を2枚連続処理 - 導電部材、浮上搬送の採用やイオナイザの最適配置によるESD抑制
- 浮上搬送方式のスリット塗布装置「レビコータ™」を採用
・最大G10までの大型基板で多数の実績のある高精度塗布装置
・2ノズルタイプで複数の薬液系統に対応（オプション）
仕様
対応基板サイズ
SK-F1500H：1,500mmｘ925mm（G6ハーフ基板）2枚連続処理