有機EL用カラーフィルター膜(反射防止膜)形成工程用
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画面を折り畳んだり(フォルダブル)、巻いたり(ローラブル)することが可能なフレキシブル有機ELディスプレー(OLED)に対応した、カラーフィルター膜形成工程用の塗布現像装置です。
OLEDの製造に特化した製品群「Eシリーズ」における豊富な実績を活かし、OLED製造における課題を解決し、歩留まりの向上を実現します。

特長

  1. OLED用カラーフィルター膜の塗布~現像までを一貫ラインで処理
  2. OLED発光層が形成された基板にカラーフィルター膜を形成するプロセスに対応
  3. G6ハーフ基板の2枚連続処理で、生産効率の向上に寄与
    ・当社独自の基板搬送技術によりG6ハーフ基板を2枚連続処理
  4. 導電部材、浮上搬送の採用やイオナイザの最適配置によるESD抑制
  5. 浮上搬送方式のスリット塗布装置「レビコータ™」を採用
    ・最大G10までの大型基板で多数の実績のある高精度塗布装置
    ・2ノズルタイプで複数の薬液系統に対応(オプション)

仕様

対応基板サイズ
SK-F1500H:1,500mmx925mm(G6ハーフ基板)2枚連続処理

有機ELパネル(OLED)の製造に特化した製品群「Eシリーズ」について

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