株式会社SCREENファインテックソリューションズはこのほど、IT機器用や車載向けを中心に需要が拡大している有機ELディスプレーの第8世代^※1基板向け製造装置として、「SK-E2200G」「SK-E2200H」の2機種を開発。10月から販売を開始します。

近年、テレワークやオンライン授業などの浸透により、スマートデバイスに代表されるIT機器用ディスプレーの需要が拡大しています。また、EV化や自動運転技術の進展により、今後は車載用ディスプレーの大型化や搭載数の増加が見込まれています。これらのディスプレーには、有機ELを中心とした高精細・高付加価値ディスプレーの採用が進んでいるため、1枚のガラス基板から、より多くのパネルを製造できる、第8世代基板向けの有機ELディスプレー製造装置へのニーズが高まっています。

このような業界の動向を受け当社は、第8世代基板に対応するバックプレーン形成工程用塗布現像装置の「SK-E2200G」、タッチセンサーパネル形成工程用塗布現像装置の「SK-E2200H」の2機種を開発し、有機ELディスプレー製造装置群「Eシリーズ」のラインアップに加えました。

「Eシリーズ」は、有機汚染や微小なごみ、静電気など、有機ELディスプレー製造工程における課題の解決によって歩留まり向上を実現する、業界トップクラスの高生産性を備えた製造装置群で、第6世代^※2基板向けにおいて、量産装置として多数の導入実績を誇ります。

今回発売する2機種は、第6世代基板向けとして実績を重ねた基本仕様を継承しつつ、タクトタイムの短縮によって生産性を従来機種比^※3約10%向上させるなど、需要が拡大している有機ELディスプレーの安定供給に大きく貢献します。また、装置の全長を従来機種比^※3約30%短縮し、大幅な省スペース化を実現。さらに、SK-E2200Gは露光装置2台を接続する「露光装置1by2方式^※4」にも対応するなど、お客さまの工場スペースをより有効に活用することが可能です。

当社は今後も「Eシリーズ」のラインアップを拡充し、有機ELディスプレーをはじめとした高精細・高付加価値ディスプレーの生産に貢献していきます。

●SK-E2200G
有機ELなどの高精細・高付加価値ディスプレーのバックプレーン形成工程用塗布現像装置

＜主な特長＞

• 線幅／線間隔（L/S）1.2μmプロセスに対応
• 浮上搬送方式のスリット式塗布装置「レビコータ^TM」は2ノズルを搭載可能。有機ELディスプレー製造プロセスに必要な複数のレジストに対応
• 装置全長を当社従来機種比^※3で約30%短縮
• 1台で露光装置2台とインターフェースする「露光装置1by2方式^※4」に対応
• 対応基板サイズ：第8世代（2,200×2,500、2,250×2,600、2,290×2,620mm）

●SK-E2200H
有機ELディスプレーのタッチセンサーパネル形成工程用塗布現像装置

＜主な特長＞

• 第8世代ハーフ基板の2枚同時処理が可能
• 線幅／線間隔（L/S）1.2μmプロセスに対応
• 浮上搬送方式のスリット式塗布装置「レビコータ^TM」は2ノズルを搭載可能。有機ELディスプレー製造プロセスに必要な複数のレジストに対応
• 装置全長を当社従来機種比^※3で約30%短縮
• 対応基板サイズ：第8世代ハーフ基板（2,200×1,250、2,250×1,300、2,290×1,310mm）

 

※1 第8世代：2,200×2,500、2,250×2,600、2,290×2,620mm
※2 第6世代：1,500×1,850mm
※3 第8世代の従来機種比：当社「SK-2200G」との比較
※4 従来、2台の装置と露光装置2台で構築していたラインを1台の装置で構築できるため、大幅な省スペース化を実現。また、異なるサイズのパネルを同一基板から生産する「MMG（Multi Model on Glass）」に対応できる他、露光装置2台を並行処理することによってラインタクトよりも長い時間の露光処理も可能。

＊ レビコータ™は株式会社SCREENホールディングスの商標または登録商標です。

 

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