Doc. No.: FT240625_020J

株式会社SCREENファインテックソリューションズはこのほど、有機ELディスプレー用の基板形成工程向け塗布現像装置の新製品として、第6世代基板用の「SK-B1500G」および第8世代基板用の「SK-B2200G」を開発。有機ELディスプレー製造装置群「Eシリーズ」の新たなラインアップとして、販売を開始します。

SK-Bシリーズ


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軽量・薄型かつフレキシブルさを特長とする有機ELディスプレーは、折り畳み式スマートデバイスや車載向けを中心に採用が進み、今後も市場の長期的な伸長が見込まれています。また、有機ELディスプレーのバックプレーン製造工程では、長寿命化・省電力化を目的として、反射防止フィルムに代わりCOE※1の採用が進んでいます。従来はバンク材※2として透明PDL※3を使用していましたが、より反射防止効果を高めるためブラックPDL(以下、BPDL)に変更する動きが加速しています。

このような業界の動向を受け当社は、有機ELバックプレーンにおけるBPDL形成工程用向け塗布現像装置として、第6世代基板に対応する「SK-B1500G」、第8世代基板に対応する「SK-B2200G」の2機種を開発。有機ELディスプレー製造装置群「Eシリーズ」のラインアップに加えることにより、同シリーズの拡充を図りました。

「Eシリーズ」は、有機ELディスプレー製造工程において歩留まり低下の原因となっている有機汚染、微小なごみ、静電気の発生などの課題に対応しています。これにより、業界トップクラスの高生産性を実現し、量産装置として豊富な導入実績を誇っています。

今回発売する2機種は、これまでリリースしてきた「Eシリーズ」の基本スペックを継承しつつ、BPDL専用に開発された初めての装置となります。新たに開発したBPDL専用スリット式塗布装置「レビコータ™」をはじめ、BPDLに特化した塗布ノズル洗浄機構や現像処理装置の搭載により、量産時における良品率の向上・安定化に貢献します。

●SK-B1500G
・対応基板サイズ:第6世代(1,500×1,850mm)

●SK-B2200G
・ 対応基板サイズ:第8世代(2,200×2,500、2,250×2,600、2,290×2,620mm)

※1 「Color On Encapsulation」の略。OLED封止層上にカラーフィルター層を形成し、反射防止機能を持たせる。
※2 ディスプレーにおいて、画素を区切る素材。
※3 「Pixel Defining Layer」の略。ディスプレー中の赤色・緑色・青色の各素子が干渉しないように封入する素材を指す。現在までポリアミド製の透明なものが使用されてきたが、パネルの省電力化・長寿命化を目指し、遮光性能の高い黒色フィルムの利用について技術的な検討が進められている。

* レビコータTMは株式会社SCREENホールディングスの商標または登録商標です。

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