コータ・デベロッパ SK-Eシリーズ
プレミアムディスプレーのバックプレーン形成工程用
有機EL（OLED）をはじめとする、高精細・高付加価値なプレミアムディスプレーのバックプレーン形成工程用コータ・デベロッパです。線幅／線間隔（L/S）1.2μmプロセスに対応しながら、業界トップクラスの生産性を実現しました。
第8世代までのガラス基板に対応し、IT機器用ディスプレーや車載ディスプレー等の大型化と、生産性向上に貢献します。
特長
- TFT量産に適した高生産性
洗浄・現像・塗布・ベーク等の各構成ユニットの他、インラインされる露光装置、検査装置等も含め一貫システム制御。ユニット間の物流効率を追及し、最大限の生産性を発揮。 - 線幅／線間隔（L/S）1.2μmプロセスに対応するため、以下の技術を確立。
・ミニエンバイロメント構造によるパーティクル抑制
・導電部材、浮上搬送の採用や、イオナイザの最適配置によるESD抑制
・塗布部には浮上搬送方式のスリット式塗布装置「レビコータTM」を搭載 - 塗布ノズルのメンテナンス作業も完全自動化、業界随一の連続稼動を実現しました。
- スリット式塗布装置「レビコータTM」は2ノズル搭載可能なので、有機EL製造プロセスで必要な複数のレジストに対応。
- 第8世代ガラス基板対応のSK-E2200Gは、1台で露光装置2台とインターフェースする「露光装置1by２」方式に対応。
- 省スペース設計なので、限られた生産スペースを有効にご活用いただけます。
- 資源利用効率の徹底追及により進化してきたSKシリーズは、環境にやさしいディスプレー作りを支えます。
仕様
| SK-E1500G | SK-E2200G | |
| 対応基板サイズ | 第6世代 1,500x1,850mm |
第8世代 2,200x2,500mm 2,250x2,600mm 2,290x2,620mm |
| 塗布部 | スリット式塗布装置「レビコータTM」 | |
| 塗布方式 | スリットコーター（ダイコーター） | |
2022年10月発表
第8世代基板に対応した有機ELディスプレー製造装置を発売
～「SK-E2200G」「SK-E2200H」を新たにラインアップ～
※Levicoater、レビコータは株式会社SCREENホールディングスの商標または登録商標です。