スリット式塗布装置 マルチコータ LC-Mシリーズ
ナノレベルの薄膜から厚膜まで各種塗布材料に対応し、自動機構成にも対応できるマルチで高機能なスリット式塗布装置
特長
- 自動機として、上下流プロセス装置とのインラインや、LD/ULDとのインターフェースに対応。各種プロセスに対応できるフレキシブルな装置構成が可能なので、実験・少量生産に最適です。
- 塗布部にはスリット式塗布装置「リニアコータ™」を搭載し、優れた膜厚均一性を実現
- 全面塗布のほか、ストライプ塗布、間欠塗布、ブロック塗布など用途に応じた塗布パターンの選択が可能です。
- 多種多様の配管系統を準備できるので、ご要望の膜厚・均一性を実現します。
- 段取り替え不要で、複数品種の塗布が可能な2ノズル仕様も選択いただけます。
試作から量産までのサポート体制
- 当社設備において、お客様のご要望に応じた基材、塗布材料、塗布条件にて、塗布評価、塗布テストを承っております。お気軽にご用命ください。
- 経験豊富なプロセスエンジニアが装置チューニングを全面的にサポートし、アンコーティングや塗布ムラのない、高い膜厚均一性を実現します。
- 「リニアコータ™」シリーズの多彩なラインアップで量産展開をサポートします。
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基本仕様
| LC-Mシリーズ | ||
| 対応基材サイズ |
W300 ｘ L300 mm以上
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| 塗布部 | スリット式塗布装置「リニアコータ™」 | |
| 塗布/塗工方式 |
スリットコータ（ダイコータ）
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| 対応薬液 |
感光材料（レジスト）、感光性絶縁膜、PI（ポリイミド）, ペロブスカイト、インク、各種コーティング材料
（詳細はご相談ください） |
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| 対応基材 |
ガラス、樹脂基板、フィルム、金属箔
（その他、ご相談に応じます） |
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※Linearcoater、リニアコータは株式会社SCREENホールディングスの商標または登録商標です。