マルチコータ LC-Mシリーズ

特長

  1. ナノレベルの薄膜から厚膜まで、各種塗布材料に対応。
  2. 多種多様の配管系統を準備できるので、ご要望の膜厚・均一性を求められます。
  3. 各種プロセスに対応できるフレキシブル装置構成が可能なので、実験装置・少量生産装置にも最適です。
  4. コータ・デベロッパへのインラインも可能です。
  5. 異なる2 種類の材料塗布に対応可能な、2ノズル仕様もラインアップ。
  6. 全面塗布のほか、ストライプ塗布、間欠塗布、ブロック塗布も可能。

7. 半導体パッケージ用モデル LC-M550G

リニアコータ™の優れた塗布性能を継承しています。

【対応基板サイズ
  360 × 465mm 以上

※Linearcoater、リニアコータは株式会社SCREENホールディングスの商標または登録商標です。

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