枚葉式塗布装置 マルチコータ LC-Mシリーズ
特長
- ナノレベルの薄膜から厚膜まで、各種塗布材料に対応。
- 多種多様の配管系統を準備できるので、ご要望の膜厚・均一性を求められます。
- 各種プロセスに対応できるフレキシブル装置構成が可能なので、実験装置・少量生産装置にも最適です。
- コータ・デベロッパへのインラインも可能です。
- 異なる2 種類の材料塗布に対応可能な、2ノズル仕様もラインアップ。
- 全面塗布のほか、ストライプ塗布、間欠塗布、ブロック塗布も可能。
7. 半導体パッケージ用モデル LC-M550G
リニアコータ™の優れた塗布性能を継承しています。
【対応基板サイズ】
360 × 465mm 以上
※Linearcoater、リニアコータは株式会社SCREENホールディングスの商標または登録商標です。