コータ・デベロッパ SK-Bシリーズ
有機ELバックプレーンのブラックPDL形成工程用
有機EL(OLED)バックプレーンにおけるブラックPDL(BPDL)形成工程用コータ・デベロッパです。
BPDLに特化した機能搭載により、BDPLの安定した量産に貢献します。
特長
- OLED用BPDLの塗布から現像までを一貫ラインで処理
洗浄・現像・塗布・ベーク等の各構成ユニットの他、インラインされる露光装置、検査装置等も含め一貫システム制御。ユニット間の物流効率を追及し、最大限の生産性を発揮 - 線幅/線間隔(L/S)1.2μmプロセスに対応するため、以下の技術を確立
・ミニエンバイロメント構造によるパーティクル抑制
・導電部材、浮上搬送の採用や、イオナイザの最適配置によるESD抑制
・塗布部にはBPDL専用仕様のスリット式塗布装置「レビコータTM」を搭載
・BPDL専用の塗布ノズル洗浄機構を搭載 - 塗布ノズルのメンテナンス作業も完全自動化、業界随一の連続稼動を実現しました
- スリット式塗布装置「レビコータTM」は2ノズル搭載可能なので、有機EL製造プロセスで必要な複数のレジストに対応
- 第8世代ガラス基板対応のSK-B2200Gは、1台で露光装置2台とインターフェースする「露光装置1by2」方式に対応
- 省スペース設計なので、限られた生産スペースを有効にご活用いただけます
- 資源利用効率の徹底追及により進化してきたSKシリーズは、環境にやさしいディスプレー作りを支えます
仕様
SK-B1500G | SK-B2200G | |
対応基板サイズ | 第6世代 1,500x1,850mm |
第8世代 2,200x2,500mm 2,250x2,600mm 2,290x2,620mm |
塗布部 | スリット式塗布装置「レビコータTM」 | |
塗布方式 | スリットコーター(ダイコーター) |
2022年10月発表
第8世代基板に対応した有機ELディスプレー製造装置を発売
~「SK-E2200G」「SK-E2200H」を新たにラインアップ~
※Levicoater、レビコータは株式会社SCREENホールディングスの商標または登録商標です。