特長

1. ソフトコンタクト露光と、プロキシミティ露光を採用可能。
2. 独自のミラー・レンズ光学系を採用した面内均一照明。
3. 独自のギャップ機構と高速画像処理が可能なオートアライメントシステムにより、多層露光が可能。
4. 用途と基板サイズに合わせて超高圧水銀ランプ、各種ミラー、特殊レンズを最適に組み合わせた光学系を準備。

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