手動式露光装置 MA-1000シリーズ
多品種小ロット生産や、実験・研究に最適な手動露光機
Manual equipment suitable for small lot production or R&D
特長
- ソフトコンタクト露光と、プロキシミティ露光を採用可能。
- 独自のミラー・レンズ光学系を採用した面内均一照明。
- 独自のギャップ機構と高速画像処理が可能なオートアライメントシステムにより、多層露光が可能。
- 用途と基板サイズに合わせて超高圧水銀ランプ、各種ミラー、特殊レンズを最適に組み合わせた光学系を準備。