さらなる進化をとげる、 世界シェアNo.1*洗浄装置 * 当社調べ
16チャンバ搭載、最大毎時1,000枚のハイスループットを実現
業界初、ブラシ洗浄と薬液によるエッチング&洗浄機能を併せ持つ、ハイブリッドタイプ
多彩な機能と拡張性で、時代のニーズに応える
SOKUDO DUO 毎時450枚以上のハイスループットを実現するデュアルトラックシステム
ウェットステーション
スピンプロセッサ
スピンスクラバ
スピンスクラバ(ブラシ&薬液洗浄)