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スピンスクラバ
SS-3300S
16チャンバ搭載、最大毎時1,000枚のハイスループットを実現
特長
1. 高生産性
スクラバー方式として業界初※1となる、最大16チャンバ搭載を可能にする新プラットフォームを採用。新たなデュアル搬送システムにより、装置面積当たりの生産量を大幅に向上させ、業界最高レベルの最大毎時1,000枚※2のハイスループットを実現しました。
2. 省スペース設計
8チャンバのSS-3200 2台と比較して、フットプリントを27%削減。省スペースかつ優れたコストパフォーマンスを発揮します。
3. 制御システム刷新
制御システムを刷新し、製造工程のスマートファクトリー化に貢献します。装置のIoT化や装置間の連携などに対応する機能拡張が可能です。
4. 排気量削減ソリューション（オプション）
排気循環システムをオプションで搭載可能です。装置全体の排気量を従来比65%削減します。装置のクリーン化により、お客様のESGへの取り組みを後押しします。
※1. 2020年12月時点での当社調べ
※2. 同一フローレシピの連続着工時
製品情報
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- ウェーハ洗浄装置
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ウェットステーション
スピンプロセッサ
スピンスクラバ
スピンスクラバ（ブラシ&薬液洗浄）
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- 後工程用露光装置
