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ウェットステーション
WS-620C/ WS-820C/ WS-820L
ライン構成がフレキシブルな高スループット
バッチ式洗浄システム
特長
1. ２タイプの搬送方式を準備
キャリア搬送処理のWS-620C（150mmウェーハ用）/ WS-820C（200mmウェーハ用）と、キャリアレス搬送処理のWS-820L（200mmウェーハ用）を提供します。
2. フレキシブルな設計
目的に応じて、自由なシステム構成が可能。処理槽構成は最大13槽まで可能です。
3. 高スループット
複数槽設置と最大6台まで搭載可能な搬送ロボットにより、高スループットを実現します。
4. 高品質処理
処理槽設計の最適化や厳しい薬液管理、クリーンな乾燥部などにより、安定した高品質な処理が可能です。
5. 周辺機器も充実
ウェーハ移載機、カセットストッカなどの周辺機器も多種準備しています。
6. ウォータマークを抑制
減圧乾燥装置が搭載可能なため、ウォータマークの発生を低減したクリーンな乾燥ができます。（WS-820Lのみ対応）
- QDR : Quick Dump Rinsing bath / FR : Final Rinsing bath
- SD : Spin Dryer / EDR : Dump Rinsing bath
- 注） QDR : 機能水洗槽 FR : 最終水洗槽 SD : スピンドライヤ EDR : HF系後の機能水洗槽
製品情報
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- ウェーハ洗浄装置
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ウェットステーション
スピンプロセッサ
スピンスクラバ
スピンスクラバ（ブラシ&薬液洗浄）
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- 後工程用露光装置
