パターン付きウェーハ外観検査装置
ZI-3600
分解能の異なる3種類のレンズを搭載
高分解能と高生産性を両立したパターン付きウェーハ外観検査装置
特長
1. 従来比約2倍のスループットを実現
独自開発の検査ヘッド搭載と、高速画像処理エンジンの改良の積み重ねにより、従来モデルと比べ約2倍※の実用処理能力を実現しました。また、ラインセンサによる全面検査方式を採用。チップサイズや数量に依存することなく一定のスピードで検査可能なため、安定した生産に大きく貢献します。
※「ZI-3500」との比較
2. 1μm以下の微細欠陥の検出や不良解析が可能
新たな対物レンズを採用し、1μm以下の微細欠陥の検出や不良解析が可能となりました。さらに、分解能の異なる3種類の対物レンズを同時に搭載。レンズを自動で切り替えながら検査を実行できるため、微細欠陥からマクロ欠陥までの幅広い検査に一台で対応できます。
3. 実際のウェーハ画像を確認しながら容易にレシピ作成が可能
実際のウェーハ画像を確認しながら容易に検査条件が設定できるため、専門のエンジニアだけでなく、オペレーターでもレシピ作成が可能です。さらに、オプションとしてクリティカルディメンション測定機能、オーバーレイ測定機能も搭載可能。レシピ作成時に条件を設定するだけで、検査と同時にこれらの測定が可能です。
製品情報
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- ウェーハ洗浄装置
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ウェットステーション
スピンプロセッサ
スピンスクラバ
スピンスクラバ（ブラシ&薬液洗浄）
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- 後工程用露光装置