特長

1. 従来比約2倍のスループットを実現

独自開発の検査ヘッド搭載と、高速画像処理エンジンの改良の積み重ねにより、従来モデルと比べ約2倍^※の実用処理能力を実現しました。また、ラインセンサによる全面検査方式を採用。チップサイズや数量に依存することなく一定のスピードで検査可能なため、安定した生産に大きく貢献します。
※「ZI-3500」との比較

2. 1μm以下の微細欠陥の検出や不良解析が可能

新たな対物レンズを採用し、1μm以下の微細欠陥の検出や不良解析が可能となりました。さらに、分解能の異なる3種類の対物レンズを同時に搭載。レンズを自動で切り替えながら検査を実行できるため、微細欠陥からマクロ欠陥までの幅広い検査に一台で対応できます。

3. 実際のウェーハ画像を確認しながら容易にレシピ作成が可能

実際のウェーハ画像を確認しながら容易に検査条件が設定できるため、専門のエンジニアだけでなく、オペレーターでもレシピ作成が可能です。さらに、オプションとしてクリティカルディメンション測定機能、オーバーレイ測定機能も搭載可能。レシピ作成時に条件を設定するだけで、検査と同時にこれらの測定が可能です。

パターン付きウェーハ外観検査装置

ZI-3600

特長

1. 従来比約2倍のスループットを実現

2. 1μm以下の微細欠陥の検出や不良解析が可能

3. 実際のウェーハ画像を確認しながら容易にレシピ作成が可能

製品情報