多彩な機能と拡張性で、時代のニーズに応える
フットプリント半減、生産性1.5倍のハイコストパフォーマンス洗浄装置
解像度の異なる3種類のレンズを搭載 高解像度と高生産性を両立したパターン付きウェーハ外観検査装置
豊富な実績を誇るSSシリーズの安定性・信頼性を継承した線審のスピンスクラバ
多様な基板へフレキシブルに対応
ウェットステーション
スピンプロセッサ
スピンスクラバ
スピンスクラバ(ブラシ&薬液洗浄)