株式会社SCREENホールディングス

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

  1. HOME
  2. 製品情報
  3. VM-1020
VM-1020

光干渉式膜厚測定装置

VM-1020

R&Dに最適な顕微鏡モデル

  • 50mm-300mm
  • LMBD ACE

特長

  1. 鏡筒、手動XYステージ、電動レボルバ、対物レンズ、フィルタ挿入部、光源からなる顕微鏡部と分光器で構成されており、分光器には、光ファイバー入力式CCD分光器を採用しました。 これによりサンプル面の反射光を可視光域の全波長域にわたり同時に測定でき、 膜厚を高速、高精度に測定します。
  2. レシピウイザード機能を使用することにより、複雑なレシピ作成作業を誰でも簡単に行え、レシピの管理、登録数も大幅に向上しています。
  3. 標準25膜種の測定膜種に加え、測定膜および基板の光学定数(屈折率、吸収係数)のユーザ登録機能を利用することにより、標準以外の各種測定プログラムをユーザ自身が、自由に作成、登録できます。

 

測定機能

● 25種類の層膜測定(UVモデルは29種類)

● 分光反射率測定

● 膜種のユーザー登録

● 測定データやその他統計出力の3次元マッピング

● 積層膜同時測定(最大4層膜まで)

● エッチレート計算

製品情報