大型パネル用直接描画装置
LeVina
FCCSP、FCBGA、FOPLP等の先端パッケージに対応したパターン用ダイレクトイメージング装置
本製品はSCREEN HDの取り扱い製品となります。
詳しくは下記からご覧ください。
https://www.screen.co.jp/pe/experiences/ja/levina/index.html
製品情報
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- ウェーハ洗浄装置
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ウェットステーション
スピンプロセッサ
スピンスクラバ
スピンスクラバ（ブラシ&薬液洗浄）
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- 後工程用露光装置