株式会社SCREENホールディングス

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

先端デバイス対応装置(300mm)

コータ・デベロッパ

ウェーハ洗浄装置

ウェットステーション

スピンプロセッサ

スピンスクラバ

ポリマ除去

熱処理装置

計測装置

検査装置

後工程用露光装置

イオン注入装置