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16チャンバ搭載、最大毎時1,000枚のハイスループットを実現
業界初、ブラシ洗浄と薬液によるエッチング&洗浄機能を併せ持つ、ハイブリッドタイプ
SCREEN歴代枚葉洗浄装置のDNAを継承 最大24チャンバの圧倒的な生産性と、最高水準の処理技術を結集
SOKUDO DUO 毎時450枚以上のハイスループットを実現するデュアルトラックシステム
ウェットステーション
スピンプロセッサ
スピンスクラバ
スピンスクラバ(ブラシ&薬液洗浄)