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先端デバイス対応装置（300mm）

ウェーハ洗浄装置

ウェットステーション

FC-3100
FC-3100
ウェットステーション

スピンプロセッサ

SU-3400
SU-3400
枚葉式洗浄装置
SU-3300
SU-3300
枚葉式洗浄装置
SU-3200
SU-3200
枚葉式洗浄装置

スピンスクラバ

SS-3300S
SS-3300S
スピンスクラバ
SS-3200
SS-3200
スピンスクラバ

スピンスクラバ（ブラシ&薬液洗浄）

SB-3300
SB-3300
ウェーハ裏面洗浄装置

ポリマ除去

コータ・デベロッパ

RF-200EX/RF-300EX
RF-200EX/RF-300EX
コータ・デベロッパ
DT-3000（SOKUDO DUO）
DT-3000（SOKUDO DUO）
コータ・デベロッパ

熱処理装置

LA-3100
LA-3100
フラッシュランプアニール装置

計測装置

RE-3500
RE-3500
エリプソ式膜厚測定装置
VM-2500/VM-3500
VM-2500/VM-3500
光干渉式膜厚測定装置
VM-1200/VM-1300
VM-1200/VM-1300
光干渉式膜厚測定装置
VM-1020
VM-1020
光干渉式膜厚測定装置

検査装置

ZI-3600
ZI-3600
パターン付きウェーハ外観検査装置

後工程用露光装置

LeVina
LeVina
大型パネル用直接描画装置

製品情報