豊富な実績を誇るSSシリーズの
安定性・信頼性を継承した先進のスピンスクラバ
長年にわたるスピンスクラバ技術を踏襲しながら、機能性をさらに向上。最大毎時160枚(弊社現行機比111%)※の高速処理を可能にしました。
※システム構成と条件により異なります。
制御システムをリニューアルし、直感的な簡単操作でオペレーションできる専用GUIを搭載。現場の作業効率向上に貢献します。
独自開発の「チャンバ分離設計」を採用。チャンバが駆動している最中でも、停止しているチャンバに対して、ブラシ・ピン交換やカップ清掃などのメンテナンスができ、ダウンタイムを大幅に低減します。
信頼と実績のある6種類の洗浄ツールを搭載。目的や用途に応じて幅広く対応します。とりわけべベル洗浄は、洗浄ブラシを高精度で駆動・制御することにより、歩留まり向上に大きな効果を発揮します。
設置スペースや処理能力に応じて、スピンヘッドを2基から最大6基まで搭載可能。導入後の拡張にも柔軟に対応します。
ウェットステーション
スピンプロセッサ
スピンスクラバ
スピンスクラバ(ブラシ&薬液洗浄)