枚葉式洗浄装置
SU-3300
最大24チャンバによる高い生産性と、
最高水準の処理技術を結集した枚葉式洗浄装置
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最大24 チャンバ搭載
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4段× 6 タワー構造
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シングルチャンバサービス
特長
1. 業界最大の24チャンバ搭載
最大4段×6タワー構造のチャンバ搭載により、高い生産性を実現しています。
2. 微細パターンの倒壊を大幅に抑制
最新の乾燥技術により、ウェーハ上の気液界面を高精度かつスピーディに制御。 チャンバ内の温度・湿度を常に最適な状態にコントロールし、より微細化の進む高アスペクト比の脆弱パターン倒壊抑制に優れた効果を発揮します。
3. 優れたエッチング均一性と薬液削減を実現
薬液の温度・流量・吐出位置を高精度に制御する「Nanocontrol nozzle」技術を搭載。従来比約半分の薬液で、ウェーハ面内のエッチング均一性を飛躍的に高めることが可能です。
4. チャンバ清浄度をさらに高める「APAC2※」
SU-3200に搭載の超清浄化技術「APAC」がさらに進化。チャンバ内の気流を高精度に制御する新技術ASC（Advanced Stream Control）により、チャンバ内の処理環境が向上。チャンバ間差の低減にも貢献します。
- ※ APAC2: Advanced Process Atmosphere Control 2の略称。チャンバ内の超清浄化に対する当社独自のクリーン化技術。
製品情報
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- ウェーハ洗浄装置
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ウェットステーション
スピンプロセッサ
スピンスクラバ
スピンスクラバ（ブラシ&薬液洗浄）
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- 熱処理装置
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- 後工程用露光装置