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SP-2100

スピンプロセッサ

SP-2100

多彩な機能と拡張性で、時代のニーズに応える

  • 76-200mm
  • AQUASPIN

特長

1. メカニカル方式による安定したウェーハ搬送

● I-LINEのシングルパス搬送方式を採用。

● 豊富な実績のあるピックアンドプレース方式のメカニカル搬送方式を継承し安定したウェーハ搬送を実現します。

 

2. 多様な化合物ウェーハに対応

● シリコンはもちろん、SiCやGaN、LiTaO3など、さまざまな化合物ウェーハにも対応。

● ウェーハサイズも76mm〜200mmまで幅広くカバーしています。

3. 処理チャンバ(MTC/DTC)

マルチタスクチャンバ:高温の強酸による洗浄・エッチングにも対応

ドライタスクチャンバ: ウェーハを水洗し、高速スピン乾燥。

4. メタルエッチング工程に対応

独自開発のエンドポイントセンサー搭載(オプション)により、再現性の高いエッチングプロセスを実現。

5. GUIを刷新しユーザビリティ向上

制御システムをリニューアルし、直感的な簡単操作でオペレーションできる専用GUIを搭載。

6. デバイス対応力をさらに高める洗浄ツール(オプション)

洗浄ツールとして、NanosprayやSoftsprayが選択できます。さらに、表面ブラシを搭載可能(CMP後洗浄など)。  
目的と用途に応じた幅広い洗浄工程への対応を実現しました。

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