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VM-1200/VM-1300

光干渉式膜厚測定装置

VM-1200/VM-1300

製造ラインへの導入も可能な卓上モデル

  • 100mm-300mm

特長

  1. 分光器にCCDイメージセンサを採用することで、可視光の全波長域にわたって同時に測定でき、膜厚を高速・高精度に測定できます。
  2. レシピウイザード機能を使用することにより、複雑なレシピ作成作業を簡単に行え、レシピの管理、登録数も大幅に向上しています。
  3. 測定データの3次元マッピング表示、膜厚値修正機能、ヒストグラム表示、統計計算などデータのきめ細かい2次加工が可能です。
  4. オートステージ、オートフォーカスにより、自動測定が可能です。
  5. 標準で25膜種の膜厚測定と分光反射率測定に対応。また、標準以外の各種測定プログラムを幅広く準備しています。
  6. 最大4層膜までの積層膜同時測定が可能です。

 

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