特長

1. 高生産性

● 3段積み×4タワー構造とすることで12チャンバ化に対応。

● 従来装置の搬送システムをさらにスピードアップし、最大で毎時800枚のスループットを実現しています。

● 単位面積当たりの生産性が大幅にアップしました。

● チャンバと流体ユニットを一体構造とし、流体ユニットにはさらにトレイ構造を採用。仕様変更およびメンテナンス性をアップさせています。

● 装置背面に薬液供給システムを配置。薬液供給源からウェーハまでの距離を極力短くして処理制御を高めています。また、お客さまの仕様に応じて薬液供給システムを自由にレイアウトできる構造としています。

● DDI（Dynamic Direct Injection）システムとキャビネットタイプの2種類の薬液供給システムを準備。お客さまのご要望に柔軟に対応します。

● チャンバ内の容積を従来装置の約3分の１に小型化。チャンバ内の雰囲気置換特性を最大限にアップさせ、超清浄化を実現。

● ABG（Air Balance Guide）により、FFUのダウンフローを均一化。

● 独自のエアープロテクト技術を駆使したAPN（Air Protection Nozzle）を採用。乾燥後のウォータマークフリーを実現。

● 処理中の液跳ねを極限まで低減する独自技術ASP（Advanced Splash Protection）により、クリーンな環境でのウェーハ処理を実現。