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枚葉式洗浄装置
SU-3400
The Evolution of
the World's No. 1* Cleaning Equipment
さらなる進化をとげる、
世界シェアNo.1*洗浄装置
* 当社調べ
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最大24 チャンバ搭載
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6段× 4 タワー構造
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シングルチャンバサービス
SCREENセミコンダクターソリューションズは、1983年に枚葉式洗浄装置を開発して以来、今日まで長年にわたってウェーハ上の気液界面の最適な処理を追求し、枚葉式洗浄の技術を進化させてきました。SU-3400は、業界のデファクトスタンダードとなっている「SUシリーズ」ならではの、安定した洗浄処理性能を継承。世界最高レベルの生産性と高い処理性能を実現しています。
特長
1. 毎時最大1,200枚のスループット
ウェーハを搬送するロボットとウェーハを処理するチャンバ構成、配置の改善により、枚葉式洗浄装置分野で世界最高水準となる、毎時1,200枚の実用処理能力を実現。優れた洗浄品質と、バッチ式洗浄装置にも迫る処理能力で、半導体デバイス製造を強力にサポートします。
2. フットプリント30%削減
洗浄処理チャンバを小サイズ化し、6段タワー構造の新たなプラットフォームを採用することにより、「SU-3300」と同じ24台のチャンバを搭載しながらも、フットプリントを30％削減しました。
3. 環境負荷（排気／窒素／薬液）の低減
洗浄ノズルの改良と効率的な薬液循環システムにより、薬液の使用量を大幅に節減できる他、全自動気流制御による排気流量削減など、装置使用時の環境負荷を20％低減しました。
4. ビッグデータを活用した安定稼働とカメラ監視によるトラブル防止
高解像度カメラによるチャンバ内のモニタリングに加え、IoTやビッグデータを活用した故障検知など、充実したサポート・メンテナンス機能を搭載しています。
製品情報
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- ウェーハ洗浄装置
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ウェットステーション
スピンプロセッサ
スピンスクラバ
スピンスクラバ（ブラシ&薬液洗浄）
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- 後工程用露光装置