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FC-3100

ウェットステーション

FC-3100

最適な洗浄プロセスに応える進化形

  • 300mm
  • F-WET spin

特長

1. ハイスループットを実現

ハイスループットバッファモジュールと高速搬送モジュールを搭載することにより、毎時650枚の高生産性を実現。

2. 安定性・高信頼性の実現

FC-3100は、より信頼性を向上させるため、装置本体を7つの独立モジュールに分割、組み合わせるというシンプルな構造を採用しています。各モジュールは、標準化された独立構造となっています。洗浄槽2槽を1モジュールとしたコンパクトな構造となっていますので、組み立てから調整、検査、そして搬入までをスムーズに行えます。

3. 減圧乾燥システム(HiLPD)

減圧乾燥システム「HiLPD」を搭載。キャリアN2無しで高濃度IPAを供給できるようになり、ウォータマークを大幅に抑えることが可能となりました。また、高濃度IPAによって表面張力をすばやく低下させることで、パターン倒壊を防止できます。

4. ドライエア乾燥技術 Dry-Air Dryer(DAD)

DADは、極めて露点の低いドライエアをウェーハに吹き付け、洗浄後の水分を瞬間的に除去する新乾燥技術です。
従来のIPAによる乾燥と同等の性能を維持しながらも、処理時間を約2分の1※に短縮できます。
さらにランニングコストは最大で8分の1※にまで低減できるほか、レジスト溶解も発生しません。
当然IPAを一切使用しないためVOC排出量はゼロとなり、環境に優しく安全性にも優れた乾燥技術です。

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  • ※ 当社比

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