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WS-620C/WS-820L

ウェットステーション

WS-620C/ WS-820L

ライン構成がフレキシブルな高スループット
バッチ式洗浄システム

  • 150mm-200mm

特長

1. 2タイプの搬送方式を準備

キャリア搬送処理のWS-620C(150mmウェーハ用)と、キャリアレス搬送処理のWS-820L(200mmウェーハ用)を提供します。

2. フレキシブルな設計

目的に応じて、自由なシステム構成が可能。処理槽構成は最大13槽まで可能です。

3. 高スループット

複数槽設置と最大6台まで搭載可能な搬送ロボットにより、高スループットを実現します。

4. 高品質処理

処理槽設計の最適化や厳しい薬液管理、クリーンな乾燥部などにより、安定した高品質な処理が可能です。

5. 周辺機器も充実

ウェーハ移載機、カセットストッカなどの周辺機器も多種準備しています。

6. ウォータマークを抑制

減圧乾燥装置が搭載可能なため、ウォータマークの発生を低減したクリーンな乾燥ができます。(WS-820Lのみ対応)

product_system.png
  • QDR : Quick Dump Rinsing bath / FR : Final Rinsing bath
  • SD : Spin Dryer / EDR : Dump Rinsing bath
  • 注) QDR : 機能水洗槽 FR : 最終水洗槽 SD : スピンドライヤ EDR : HF系後の機能水洗槽

製品情報