HOME
ENGLISH
SCREENホールディングス
文字サイズ
A
A
会社情報
会社情報
社長メッセージ
会社概要
Mission, Vision, 6 Core Values
品質基本方針
国内・海外ネットワーク
製品情報
製品情報
ウェーハ洗浄装置
コータ・デベロッパ
熱処理装置
計測装置
検査装置
後工程用露光装置
サービス
サービス
SSi(情報配信サービス)
提供情報について
登録方法
SSiに関するお問い合わせ
部品検索・受発注システム S-POS
警告ラベル.com
ホーム
会社情報
製品情報
サービス
ENGLISH
SCREENホールディングス
ニュース・イベント情報
2024.02.21
EVENT
HOME
製品情報
IoTデバイス対応装置(200mm)
FC-821L
ウェットステーション
FC-821L
ハーフピッチとワンバスを採用した省スペースバッチ式洗浄装置
特長
ウェーハのハーフピッチ搬送を実現。処理槽を小型化することで、薬液、純水の使用量を削減しています。
薬液循環槽(CHB)を搭載することにより、高温薬液や高濃度薬液も使用可能。幅広い洗浄プロセスに対応しています。
1つの槽で薬液、水洗処理を行うワンバス処理を装備。常に微細パターンの内部まで濡れ性を確保し洗浄できます。しかも、洗浄処理中のウェーハが大気に触れないため自然酸化膜の発生も抑制できます。また、ここでは5種類の薬液を1槽で使用できるため、幅広い洗浄プロセスにフレキシブルに対応することができます。
減圧乾燥装置を搭載することにより、ウォータマークの発生しやすい工程においても、ウォータマークレスを実現します。
製品情報
ウェーハ洗浄装置
ウェットステーション
ウェットステーション FC-3100
ウェットステーション WS-620C/WS-820C/WS-820L
ウェットステーション FC-821L
コンパクトウェットステーション CW-2000
スピンプロセッサ
枚葉式洗浄装置 SU-3400
枚葉式洗浄装置 SU-3300
枚葉式洗浄装置 SU-3200
枚葉式洗浄装置 SU-2000
スピンプロセッサ SP-2100
スピンスクラバ
スピンスクラバ SS-3300S
スピンスクラバ SS-3200
スピンスクラバ SS-80EX
スピンスクラバ(ブラシ&薬液洗浄)
ウェーハ裏面洗浄装置 SB-3300
コータ・デベロッパ
コータ・デベロッパ RF-200EX/RF-300EX
コータ・デベロッパ DT-3000(SOKUDO DUO)
コータ・デベロッパ SK-60EX/SK-80EX
スプレーコータ SC-80EX
熱処理装置
フラッシュランプアニール装置 LA-3100
レーザーアニール装置 LT-3100
計測装置
エリプソ式膜厚測定装置 RE-3500
光干渉式膜厚測定装置 VM-2500/VM-3500
光干渉式膜厚測定装置 VM-1200/VM-1300
光干渉式膜厚測定装置 VM-1020
検査装置
パターン付きウェーハ外観検査装置 ZI-3600
パターン付きウェーハ外観検査装置 ZI-2000
後工程用露光装置
大型パネル用直接描画装置 LeVina