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FC-821L

ウェットステーション

FC-821L

ハーフピッチとワンバスを採用した省スペースバッチ式洗浄装置

  • 200mm
  • F-WET

特長

  1. ウェーハのハーフピッチ搬送を実現。処理槽を小型化することで、薬液、純水の使用量を削減しています。
  2. 薬液循環槽(CHB)を搭載することにより、高温薬液や高濃度薬液も使用可能。幅広い洗浄プロセスに対応しています。
  3. 1つの槽で薬液、水洗処理を行うワンバス処理を装備。常に微細パターンの内部まで濡れ性を確保し洗浄できます。しかも、洗浄処理中のウェーハが大気に触れないため自然酸化膜の発生も抑制できます。また、ここでは5種類の薬液を1槽で使用できるため、幅広い洗浄プロセスにフレキシブルに対応することができます。
  4. 減圧乾燥装置を搭載することにより、ウォータマークの発生しやすい工程においても、ウォータマークレスを実現します。

製品情報