開発者インタビュー
「世界最高の装置」を
開発するために
株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ | Y.Tさん
枚葉式洗浄装置 SU-3400とは。
世界最高レベルの生産性と高い処理性能を実現した最新モデル。
半導体製造において、重要な工程である洗浄工程。SCREENセミコンダクターソリューションズは、1983年に枚葉式洗浄装置を開発して以来、長年にわたってウェーハ上の気液界面の最適な処理を追求し、枚葉式洗浄の技術を進化させてきました。SU-3400は、業界のデファクトスタンダードとなっている「SUシリーズ」ならではの、安定した洗浄処理性能を継承し、世界最高レベルの生産性と高い処理性能を実現した装置です。
開発にあたり、苦労したことはどこですか？
それを打開した方法は？
世界最高の装置を開発することの大変さ。さまざまな経験・人脈・情報を取り入れて形にしていく。
私はもともとSU-3300のプロセス開発リーダーを担当していました。
今回、SU-3400を開発するに当たり、従来機を超える世界最高の枚葉式洗浄装置を開発するというのが一番大変でした。
そのためにSU-3300の開発・量産の経験と人脈を使って、お客様や営業、現地法人、製造部門といった開発や技術の部門だけの情報ではなく、さまざまな情報を取り入れてSU-3400という形にしました。
装置開発において、意識していることはありますか？
「かゆいところに手が届く装置とは何か」
お客さま目線を徹底的に意識すること。
過去出荷した装置の製番の仕様を分類して最適な構成を割り出します。どうしても技術者として「作りやすい装置」という偏った形になってしまいがちですが、マーケティング目線やお客さま目線を徹底的に意識して、「かゆいところに手が届く装置とは何か」を意識しながらSU-3400を作りました。
また、限られた開発期間の中で装置の完成度を高めるために、「作る前に作る」というコンセプトをもとに、SU-3400では 3Dのモデルベースで解析技術をふんだんに使って、装置の完成度を高めました。
開発者として大切にしていることは何ですか？
常にワクワク・ドキドキを大切にすることです。
私が開発者として大切にしていることは、常にドキドキ・ワクワクを忘れないことです。それが創業の精神である思考展開につながり、生まれてきたものがソリューションクリエイターになると信じています。
人が困っている数だけ仕事があり、ピンチはチャンスだと捉えています。分からないことや困ったことは、根拠やデータを積み上げていくだけです。そのために「作る前に作る」を意識して開発を行っています。そこから出てきたものが、どのような結果を出すか、ドキドキワクワクが止まらないと思います。私はそれを大切にしています。
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