株式会社SCREENホールディングスはこのほど、令和7年度 科学技術分野の文部科学大臣表彰において「半導体洗浄技術の開発」の業績で「科学技術賞（開発部門）」を受賞しました。

科学技術分野の文部科学大臣表彰は、科学技術に関する研究開発、理解増進等において顕著な成果を収めた者について、同分野に携わる者の意欲の向上を図り、日本の科学技術水準の向上に寄与することを目的とする表彰です。科学技術賞（開発部門）は、日本の社会経済、国民生活の発展・向上に寄与し、実際に利活用されている画期的な研究開発、発明を行った者に贈られます。

今回の受賞は、半導体需要を背景に急速に進化する半導体デバイスの高集積化に対応し、市場ニーズに応える技術を創出し、半導体研究開発と量産展開に寄与してきたことが評価されたものです。

主要特許：特許第3604906号「基板処理装置及び方法」
主要特許：特許第1968310号「基板の洗浄処理方法および装置」

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