株式会社SCREENホールディングスは、横浜国立大学（学長: 梅原 出）総合学術高等研究院 半導体・量子集積エレクトロニクス研究センター副センター長 井上史大准教授および、株式会社ディスコ（代表執行役社長: 関家 一馬）、株式会社KOKUSAI ELECTRIC（代表取締役 社長執行役員: 金井 史幸）と共同で、2024年度の国立研究開発法人 科学技術振興機構（JST）の研究成果展開事業 研究成果最適展開支援プログラム（A-STEP）の「産学共同ステージⅡ」に採択されました。

《採択課題名》

「前工程／後工程の融合による高エネルギー効率Beyond 2nmデバイスの研究開発」

《採択課題の概要》

デジタル社会の基盤技術であるAI半導体の高エネルギー効率化が急務となっており、半導体の前工程と後工程の融合による「3D集積技術」が革新的解決策とされています。半導体チップ上の電源電圧降下を効果的に抑制可能な裏面電源供給ネットワーク（BSPDN）はその代表的アーキテクチャですが、歩留まりと放熱に課題を抱えており、設計、集積、プロセスに係る各基盤技術のシステム・製造協調最適化による解決が求められています。本研究開発では、3D集積関連の技術シーズをベースに半導体製造装置企業と連携して前工程／後工程の融合エコシステム型共同研究開発体制を構築し、革新的な解決策の提案と実用化を目指します。

 

＊ A-STEP「産学共同 ステージⅡ」の概要は、JSTの「A-STEP」のホームページ（下記URL）をご参照ください。
https://www.jst.go.jp/a-step/index.html

＊ A-STEP「産学共同 ステージⅡ」の採択課題については、下記URLをご参照ください。
https://www.jst.go.jp/pr/info/info1728/pdf/info1728.pdf

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