株式会社SCREENホールディングスはこのほど、グループ会社^※1と共同で、半導体ウエハーやプリント基板向けの最新AI検査計測ソリューションを、新ブランド「SCRAIS （スクライズ）」として立ち上げ、2024年6月から販売を開始します。

近年、半導体ウエハーやプリント基板の検査工程では、人手不足や人件費の高騰を背景に、人による目視検査から、深層学習（Deep Learning）による画像認識などのAI技術を用いた検査システムへの移行が進んでいます。しかし、AI技術を用いた検査システムにおいては、欠陥見逃しに伴う工数の増加や、虚報と呼ばれる誤検出の影響による歩留まり率の低下などが、導入への課題となっています。そのため検査工程では、検査精度が高く、かつ虚報率が低い次世代の検査システムが求められています。

このような状況を踏まえ当社グループは、コア技術である画像処理技術とAI技術を融合させた「AIによる虚報フィルタリングシステム」の後継版を「SCRAIS （スクライズ）」というブランド名で展開することを決定。現在、虚報削減率80％以上、欠陥見逃し率0.1％以下^※2を顧客導入目標として、最適なアルゴリズムの構築、AIモデル開発にかかるラベル付け工数の削減、ADC^※3への深層学習の適用、検査時の設定工数削減などを進めています。

当社グループはこれからも、AI技術を活用したソリューションの提供を通じて、検査計測工程の工数削減、コスト削減や歩留まり改善など、お客様の課題解決に貢献していきます。

※1   株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ、株式会社SCREEN PEソリューションズ、
        株式会社SCREENアドバンストシステムソリューションズの3社
※2　人間における一般的な認識率をはるかに上回り、致命的な欠陥がないとされるレベル
※3　自動欠陥分類（Auto Defect Classification）

 

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