半導体製造装置の新工場「S3-5（エス・キューブ ファイブ）」が完成
Doc. No.: NR240117
株式会社SCREENホールディングスはこのほど、彦根事業所の敷地内において2023年2月より進めていた半導体製造装置の新工場「S3-5（エス・キューブ ファイブ）」の建設を終え、操業を開始しました。
＜新工場の概要＞
名 称：「S3-5（エス・キューブ ファイブ）」（S3はSafety、Smart、Speedの頭文字）
所 在 地：滋賀県彦根市高宮町480-1
建築面積：約4,500平方メートル
延床面積：約13,534平方メートル
構 造：鉄骨造 地上3階建
総 工 費：約80億円
操業開始：2024年1月
主な業務：主力製品である枚葉式洗浄装置の生産など
今回設置する全てのクリーンルームに省エネルギー対応の空調設備を導入するなど、生産設備の環境負荷低減に向けた取り組みについても継続して進めています。
■ 過去の関連ニュースリリース
半導体製造装置の生産・サービス体制を強化（2022年7月27日発表）
～彦根事業所ならびに国内グループ会社3社において設備投資を実施～
URL：www.screen.co.jp/news/NR220727
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