株式会社SCREENホールディングスはこのほど、日本経済新聞社が主催する「2023年 日経優秀製品・サービス賞」において、世界最高レベルの生産性と高い環境性能を備えた半導体ウエハー向け枚葉式洗浄装置「SU-3400」が「日経産業新聞賞」を受賞しました。
枚葉式洗浄装置「SU-3400」が2023年「日経産業新聞賞」を受賞
Doc. No.: NR240109
日本経済新聞社が主催する「日経優秀製品・サービス賞」では、毎年1回、特に優れた新製品・新サービスが表彰されます。約2万点の候補の中から厳正な審査を経て、約40点の受賞製品・サービスが選出されます。
「SU‐3400」は、世界最高レベルとなる最大毎時1,200枚の実用処理能力を実現しつつ、洗浄ノズルの改良と効率的な薬液循環システムにより、薬液の使用量を大幅に節減できます。その他、全自動気流制御による排気流量削減など、装置使用時の環境負荷20％低減を実現した環境配慮型の装置であることが高く評価され、「日経産業新聞賞」を受賞しました。
当社は、今後も半導体デバイスの省エネルギー化、環境負荷低減を推進するとともに、半導体洗浄装置のリーディングカンパニーとして、半導体業界のさらなる発展に貢献していきます。
■ 2023年 日経優秀製品・サービス賞
https://www.nikkei.com/edit/news/special/newpro/2023/
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