Doc. No.: NR220419

株式会社SCREENホールディングスではこのたび、京都府が主催する「第66回京都府発明等功労者表彰」において、「基板処理装置の発明(特許第5100179号)」が、26件の「発明考案功労者」の中から「最優秀賞」を受賞しました。

「最優秀賞」受賞者
枚葉式洗浄装置「SS-3200」

「京都府発明等功労者表彰」は、発明考案・創意工夫の重要性を広くアピールし、科学技術の発展および発明考案・創意工夫に対する意欲の向上を図ることを目的に、1957年から毎年開催されています。

今回受賞した発明は、2本以上の搬送アームを備える搬送ロボットに対して、基板の受け渡し部に、3つ以上の基板送り用ステージおよび戻り用ステージを設けることで、基板搬送に要する時間を短くできる半導体製造装置を考案。本発明により、洗浄装置の処理効率向上が可能となるため、世界的な半導体不足の緩和にも寄与する発明として、表彰委員会でも高く評価されました。なお、本技術が搭載された枚葉式洗浄装置「SS-3200」は、操作性やメンテナンス性に優れているほか、安定したプロセス処理性能を持つなど、全世界へ500台以上の出荷実績があり、業界のデファクトスタンダードとなるなど高い評価を得ています。

当社グループは、今後もお客さまの幅広いニーズに対応し、エレクトロニクス業界へのさらなる発展に貢献していきます。

<第66回京都府発明等功労者表彰 受賞一覧>

最優秀賞 基板処理装置 特許第5100179号
入賞 印刷装置のデータ処理方法及び印刷装置 特許第5848158号
入賞 減圧乾燥装置、基板処理装置および減圧乾燥方法 特許第6391362号
入賞 閾値マトリクス生成方法および記録媒体 特許第4111451号

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