半導体製造装置事業

後工程 半導体製造工程の中で、ウエハー上にICチップを形成するまでの基板工程を前工程と呼ぶのに対し、配線工程やパッケージ工程を後工程という。
イメージセンサー 光の明暗を電気信号に変換する半導体素子のこと。CCDセンサーやCMOSセンサーなどがある。
ウェットエッチング装置 露出した薄膜を薬液で腐食し、回路を刻み込む装置。
ウエハー シリコンなどの半導体の材料を、薄い円盤状に加工したもの。この上にICがつくられる。直径が大きいほど1枚のウエハーから取れるICチップの数が増え、1つ当たりの製造コストが下がる。
コーターデベロッパー フォトレジスト(感光剤)の塗布と現像を行う装置。塗布現像装置ともいう。
スクラバー 洗浄装置の一種。回転させたウエハーの表面を柔らかいブラシで掃除し、ゴミを取り除く装置。
バッチ式洗浄装置 複数のウエハーを一括で処理する洗浄装置。
パワーデバイス 電力の制御や供給を行う半導体。ハイブリッドカーや家電、スマートフォンの電力制御など、省電力技術に活用される。
半導体 導体と絶縁体の両方の性格を備えた物質。与えられた条件によって導体、絶縁体のどちらにもなるという性質から、電流の制御やエネルギーの変換などに利用される。
ファウンドリー 半導体の受託生産を行う企業。
フラッシュメモリー データの消去・書き換えができ、電源を切っても内容を保存し続ける半導体メモリー。
フラッシュランプアニール 強力な光を短時間照射して急速にウエハー表面を加熱する装置。
枚葉式洗浄装置 ウエハーを1枚ずつ処理する洗浄装置。
前工程 半導体製造工程の中で、ウエハー上にICチップを形成するまでの基板工程を指す。その後の配線工程やパッケージ工程を後工程という。
メモリー 半導体の一種で、データを記憶する。
レジスト 半導体製造工程において、ウエハーに回路を形成するために使用される感光剤。
レジスト剥離装置 マスクの役目を終えたレジスト(感光)膜を薬液で除去する装置。
ロジック 半導体の一種で、演算や命令などを行う。
DRAM メモリーの一種で、一時的にデータを保存する。電源を切ると内容は消える。
EUV露光 回路パターンをウエハー上に転写する次世代の露光技術の一種で、波長が13.5 ナノメートルと極めて短いEUV(Extreme Ultraviolet:極端紫外線)を光源に用いる。
IC 集積回路(Integrated Circuit)の頭文字をとった言葉。従来のトランジスタ、コンデンサ、抵抗を超小型化してシリコンチップ上に集積させたもの。半導体部品の大部分を占める。
IoT Internet of Things(モノのインターネット)の略。パソコンなどのIT機器以外の“モノ”(電化製品など)に通信機能を持たせ、インターネット接続することを指す。
MEMS Micro Electro Mechanical Systemsの略。半導体製造技術を応用した微細な電子機械システム、および関連技術の総称。スマートフォンでは、マイク、圧力センサーなど、幅広い用途に使用されている。
SAW デバイス 物質の表面を伝搬する弾性表面波(Surface Acoustic Wave)を利用し、携帯電話などの移動体通信に不可欠な高周波フィルターなどに使用される。

グラフィックアーツ機器事業

インクジェット印刷機 インクの微細な粒子を印刷基材に吹き付けて印刷する方式のデジタル印刷機。
デジタル印刷機 コンピューターで作成したデータを直接印刷する装置。
CTP Computer to Plateの略。印刷用データをコンピューターから直接印刷用プレート(ハンコ)として出力(作製)する方法。
POD Print on Demand(プリントオンデマンド)の略。必要なときに必要な部数を印刷すること。
UVインクジェット印刷機 紫外線(UV)が当たると硬化するUVインクの微細な粒子を、印刷する素材に吐出し、紫外線照射によりインクを硬化、定着させる印刷方式。
ワークフローソフト 複数の作業・工程を管理したり、自動化するなど、効率的に連動させるためのソフトウエア。

ディスプレー製造装置および成膜装置事業

世代 液晶パネルなどに使われる基板のサイズを表す。世代の数字が大きくなるほど、基板のサイズも大きくなる。(例)第6世代(G6):約1,500×1,800ミリ、第8世代(G8):約2,200×2,500ミリ。各サイズはパネルメーカーによって多少異なる。
フラットパネルディスプレー 液晶、プラズマ、有機ELなどの薄型ディスプレーのことを指す。
有機ELディスプレー 電流を流すと自ら発光する有機物質を用いたディスプレー。
リニアコータ 当社グループのスリット方式塗布システム。当社独自のスリットノズルを搭載し、大型基板でも材料を均一に塗布できる。
TFT LCD Thin Film Transistor Liquid Crystal Display(薄膜トランジスタ液晶ディスプレー)の略。液晶ディスプレーの一種で、画面上の文字や画像を構成する最小単位である画素の一つ一つにトランジスタが付いて表示を制御している。現在の液晶ディスプレーのほぼすべてにこの方式が採用されている。

プリント基板関連機器事業

光学式外観検査装置 プリント基板の回路パターンを光学的に読み取り、正しいパターンと比較することにより欠陥を自動的に検出する装置。
直接描画装置 回路パターンを高速・高精細で基板に直接描画(露光)する装置。従来の露光方式に比べ、納期の短縮やコストの大幅な削減が可能。
プリント基板 樹脂などでできた板状の部品に、電子部品や集積回路(IC)、それらを繋ぐ金属配線などを実装するための配線を描いたもの。「プリント配線板」とも呼ぶ。
露光装置 フォトレジスト(感光剤)を感光させることで基板上に回路を焼き付ける装置。

その他

タッチパネル 指やペンで画面に直接触れることにより機器を操作するための入力装置。
タブレット型端末 液晶ディスプレーなどの表示部分にタッチパネルを搭載し、ペンや指で画面に触れて操作できる携帯情報端末。
フォトリソグラフィー 写真蝕刻技術。写真現像技術を応用してパターンを形成する技術。