光干渉式膜厚測定装置 VM-2200/3200シリーズ
特長
- 高速モードで毎時160枚のハイスループットを実現。（SiO2、5ポイント測定時） ※VM-3210は毎時100枚です。
- VM-2200/3200シリーズはログ保存機能を装備し、メンテナンスサポートを向上させています。また、長年、半導体業界で培った経験をもとに、ユーザメンテナンス性を重視した設計となっています。
- 長年培った経験をもとに、容易なレシピ作成、光学定数のインプットを実現しています。マウス操作を重視したアプリケーションになっており、ペンタッチ式パネルへの対応も可能です。
- 装置の置き換えや設置スペースの悩みを軽減するコンパクト設計です。
