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光干渉式膜厚測定装置 VM-2200/3200シリーズ

光干渉式膜厚測定装置 VM-2200/3200シリーズ

特長

  1. 高速モードで毎時160枚のハイスループットを実現。(SiO2、5ポイント測定時) ※VM-3210は毎時100枚です。
  2. VM-2200/3200シリーズはログ保存機能を装備し、メンテナンスサポートを向上させています。また、長年、半導体業界で培った経験をもとに、ユーザメンテナンス性を重視した設計となっています。
  3. 長年培った経験をもとに、容易なレシピ作成、光学定数のインプットを実現しています。マウス操作を重視したアプリケーションになっており、ペンタッチ式パネルへの対応も可能です。
  4. 装置の置き換えや設置スペースの悩みを軽減するコンパクト設計です。

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