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ウェットステーション FC-3100
特長
ハイスループットを実現
ハイスループットバッファモジュールと新搬送モジュールを搭載することにより、毎時650枚の高生産性を実現。
安定性・高信頼性の実現
FC-3100は、より信頼性を向上させるため、装置本体を7つの独立モジュールに分割、組み合わせるというシンプルな構造を採用しています。各モジュールは、標準化された独立構造となっています。洗浄槽2槽を1モジュールとしたコンパクトな構造となっていますので、組み立てから調整、検査そして、搬入までをスムーズに行えます。
減圧乾燥システム（HiLPD）
減圧乾燥システム「HiLPD」を搭載。キャリアN2無しで高濃度IPAを供給できるようになり、ウォータマークを大幅に抑えることが可能となりました。また、高濃度IPAによって表面張力をすばやく低下させることでパターン倒壊を防止できます。
ドライエア乾燥技術 Dry-Air Dryer(DAD)
DADは、極めて露点の低いドライエアをウェーハに吹き付け、洗浄後の水分を瞬間的に除去する新乾燥技術です。従来のIPAによる乾燥と同等の性能を維持しながらも、処理時間を約2分の1※に短縮できます。さらにランニングコストは最大で8分の1※にまで低減できるほか、レジスト溶解も発生しません。当然IPAを一切使用しないためVOC排出量はゼロとなり、環境に優しく安全性にも優れた乾燥技術です。
※当社比
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