株式会社SCREENホールディングス

株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ

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ウェーハ洗浄装置

ウェットステーション

スピンプロセッサ

スピンスクラバ

スピンスクラバ(ブラシ&薬液洗浄)

ポリマ除去

コータ・デベロッパ

熱処理装置

計測装置

検査装置

後工程用露光装置