スピンスクラバ
SS-3200 for 200mm
最大毎時500枚のハイスループットを実現した、200mm向けスピンスクラバ
高生産性を誇るデファクトスタンダードのスピンスクラバ「SS-3200(300mm対応)」のプラットフォームを採用し、 200mmウェーハ対応モデルを新たに開発。200mm市場を牽引するパワーデバイス向け洗浄プロセスの最適化に貢献していきます。
特長
1. 高生産性
4段×2タワーの8チャンバ構成、マルチハンド高速搬送機構により、最大毎時500枚のハイスループット（従来装置比3倍以上※）を実現
2. ダブルブラシアーム搭載
表面ブラシとベベルブラシの同時処理等、複数種ブラシの搭載を実現
3. 純水消費量を削減
1チャンバ当たり当社従来装置比約15％削減※
4. スライドアウト式スピンチャンバ機構を採用
各チャンバを引き出し機構とすることにより、メンテナンスが容易に
5. 幅広い機能拡張性
SMIFやオープンカセットに対応／ホットプレートの搭載可能
※「SS-80EX」との比較
製品情報
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- ウェーハ洗浄装置
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ウェットステーション
スピンプロセッサ
スピンスクラバ
スピンスクラバ（ブラシ&薬液洗浄）
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- 熱処理装置
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- 後工程用露光装置