SCREEN
セミコンダクターソリューションズ

事業内容

スマートフォンや家電製品、自動車をはじめ、各種センシングデバイス、MEMS、パワーデバイス、IoTなどにも大きく関わっている半導体。SCREENセミコンダクターソリューションズでは、長年培ったエッチング、フォトリソグラフィ、画像処理を技術のコアとし、半導体洗浄プロセスにおいて世界No.1の市場シェアを獲得し続けています。そして、最先端デバイス市場に対応する高機能・高生産性を実現する装置モデルから、IoTデバイス市場向けとして、200mm以下のさまざまなウェハサイズ・形状の基板に対応できるシリーズを展開し、幅広い装置ラインアップを取り揃えています。その上で、保守サポート、装置改良などのソリューションを世界中の半導体メーカーに向けて提供しています。また、新しい形の“OPERATIONAL EXCELLENCE”を追求すべく、2019年春には革新的な自動化を進めた新工場「S3（エス・キューブ）」を竣工、これを皮切りに、まったく新しいモノづくりを展開していきます。

私たちの強み・特徴

TOPIC01

超微細なゴミを除去できる
精度の高い洗浄装置

半導体の基となるシリコンウエハーは、少しの汚れで回路に欠陥が生じてしまします。その汚れのサイズはナノレベルであり、例えるならば野球場の中に落ちてある、1本の髪の毛を見つけきれいにすることと同じです。
このような超微細なゴミを除去できる装置を開発し、世界シェアNo.1を獲得しております。

TOPIC02

一つも同じ仕様の装置はない。
完全オーダーメイドで装置を開発

同じ型番でもお客さまの要望が異なるため、お客さまと密に連絡をとり要望を満たす装置を開発しています。お客さまが取扱う半導体のサイズにより、電気設計の変更、処理方法の変更などすべてが変わるため、社内に最先端プロセスを研究できる環境を整備しています。

主力製品

枚葉式洗浄装置
SU-3300

バッチ式洗浄装置
FC-3100

スピンスクラバー
SS-3200

洗浄工程割合