【事業と技術】

SCREEN
セミコンダクターソリューションズ

半導体製造装置事業

事業内容

スマートフォンや家電製品、自動車をはじめ、各種センシングデバイス、MEMS、パワーデバイス、IoTなどにも大きく関わっている半導体。SCREENセミコンダクターソリューションズでは、長年培ったエッチング、フォトリソグラフィ、画像処理を技術のコアとし、半導体洗浄プロセスにおいて世界No.1の市場シェアを獲得し続けています。そして、最先端デバイス市場に対応する高機能・高生産性を実現する装置モデルから、IoTデバイス市場向けとして、200mm以下のさまざまなウェハサイズ・形状の基板に対応できるシリーズを展開し、幅広い装置ラインアップを取り揃えています。その上で、保守サポート、装置改良などのソリューションを世界中の半導体メーカーに向けて提供しています。また、新しい形の“OPERATIONAL EXCELLENCE”を追求すべく、2019年春には革新的な自動化を進めた新工場「S3(エス・キューブ)」を竣工、これを皮切りに、まったく新しいモノづくりを展開していきます。

SCREENセミコンダクター
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私たちの強み・特徴

TOPIC01

超微細なゴミを除去できる
精度の高い洗浄装置

半導体の基となるシリコンウエハーは、少しの汚れで回路に欠陥が生じてしまいます。その汚れのサイズはナノレベルであり、例えるならば野球場の中に落ちてある、1本の髪の毛を見つけきれいにすることと同じです。
このような超微細なゴミを除去できる装置を開発し、世界シェアNo.1を獲得しております。

TOPIC02

一つも同じ仕様の装置はない。
完全オーダーメイドで装置を開発

同じ型番でもお客さまの要望が異なるため、お客さまと密に連絡をとり要望を満たす装置を開発しています。お客さまが取扱う半導体のサイズにより、電気設計の変更、処理方法の変更などすべてが変わるため、社内に最先端プロセスを研究できる環境を整備しています。

主力製品

枚葉式洗浄装置
SU-3300

バッチ式洗浄装置
FC-3100

スピンスクラバー
SS-3200

半導体製造工程

洗浄工程割合

数百工程にも及ぶ半導体製造プロセスの30%が洗浄!

キーワードで知る
SCREENセミコンダクター
ソリューションズ

Point 01

世界シェア
No.1

薬液をスプレーしてウエハーを1枚ずつ洗浄する枚葉式洗浄装置で世界シェアNo.1。45%のシェアを誇っています。その他にもSCREENセミコンダクターソリューションズは世界No.1シェアの製品を複数有しています。

Point 02

IoT
(Internet of Things)

半導体の存在を抜きにIoTの進展は語れません。IoTで使用される半導体デバイスをより安価に大量に製造できれば、結果としてIoTを世界中へ普及させることに貢献できます。IoTがさらに普及することで、スマートシティーの実現にもつながっていきます。

Point 03

半導体業界

半導体業界はさまざまなイノベーションが続く業界です。社会インフラの充実や、自動車の発展には、パワーデバイスの増加が不可欠なため、半導体市場は今後も成長していき、新しい市場が形成されていきます。