製品一覧

ウェーハ洗浄装置

ウェットステーション

FC-3100
FC-3100
ウェットステーション
WS-820L / WS-620C
WS-820L / WS-620C
ウェットステーション
FC-821L
FC-821L
ウェットステーション
CW-1500
CW-1500
コンパクトウェットステーション

スピンプロセッサ

SU-3200
SU-3200
枚葉式洗浄装置
SU-3100
SU-3100
枚葉式洗浄装置
SU-2000
SU-2000
枚葉式洗浄装置

スクラバ

SS-3200
SS-3200
スクラバ
SS-3100
SS-3100
スクラバ
SS-80BW
SS-80BW
スクラバ

ポリマ除去

SU-3100
SU-3100
枚葉式洗浄装置
SU-2000
SU-2000
枚葉式洗浄装置

熱処理装置

LA-3000-F
LA-3000-F
フラッシュランプアニール装置
LA-830
LA-830
赤外線ランプアニール装置

計測装置

REシリーズ
REシリーズ
エリプソ式膜厚測定装置
VM-2200/3200シリーズ
VM-2200/3200シリーズ
光干渉式膜厚測定装置 ラムダエース
VM-1200シリーズ
VM-1200シリーズ
光干渉式膜厚測定装置 ラムダエース
VM-1020/1030
VM-1020/1030
光干渉式膜厚測定装置 ラムダエース

検査装置

ZI-2000
ZI-2000
パターン付きウェーハ外観検査装置

後工程用露光装置

DW-3000
DW-3000
半導体後工程用直接描画装置

コータ・デベロッパ

以下の製品は「株式会社SOKUDO」の公式Webサイトへリンクします。

SOKUDO DUO
SOKUDO DUO
コータ・デベロッパ
RF<sup>3S</sup>
RF3S
コータ・デベロッパ
60EX/80EX
60EX/80EX
コータ・デベロッパ

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