Contact us
 
LEDIA TWIN 直接描画装置 カタログ rin

FC-CSP를 시작으로 다채로운 반도체
패키지 기판에 최적인
Direct Imaging System

NEW ReleaseLarge sizes

We also offer models* in sizes of up to 32 inches that retain the exposure quality of smaller sizes. These variants are also suitable for use in applications that involve metal masks that demand high render precision and large-format materials such as probe circuit boards.

*LI-7F-L

차세대 그리기 품질

고분해능화의 효과

곡선이 매끄럽게 노광

묘화 샘플

  • L/S = 50/50μm

    L/S = 50/50μm

    *This is a limited sample exposed under the conditions, whitch specified By SCREEN

  • L/S = 40/40μm

    L/S = 40/40μm


  • L/S = 8/8μm

    L/S = 8/8μm

    *This is a limited sample exposed under the conditions, whitch specified By SCREEN

  • L/S = 7/7μm

    L/S = 7/7μm


  • 8μm line

    8μm line

    *This is a limited sample exposed under the conditions, whitch specified By SCREEN

  • 7μm line

    7μm line


  • SRO = 80μm

    SRO = 8μm

    *This is a limited sample exposed under the conditions, whitch specified By SCREEN

  • SRO = 40μm

    SRO = 40μm

신기능 Design matching를 탑재, 고정밀도의 위치정도가 가능

Can be used even if it is not a Point symmetric figure and Any pattern can be used as an alignment mark.

  • Design matching
  • Design matching

변환 가능 3 파장 LED 광원

3 파장 LED 광원

3 파장의 출력비를 자유자재로 컨트롤

3 파장 LED 광원

3 파장 출력비에 의해 SR Open 형상의 컨트롤이 가능

다양한 얼라인먼트

얼라이먼트 기능

  • マーク撮影時に
    ステージを止めない

    SRO = 8μm
  • ステージの往路・復路で
    マークを撮像する

    SRO = 8μm
  • 隣りのマークもカメラ視野に
    入れる場合一度に撮像

    SRO = 8μm

인접 마크 동시 촬영으로 한층 더 고속화도

얼라이먼트 기능

  • Global

    短形補正

    Rectangle

  • Multiple points & Whole area

    線形補正 曲線補正

    Linear

    Curvw

  • Mark sharing

    短形補正

    Sharing alignment mark

  • Multiple points & Individual area

    短形補正 線形補間

    Rectangle

    Linear

다채로운 알고리즘으로 기판마다 최적인 위치 정도를 실현

오토 포커스 기능

오토 포커스 기능과 기판 휨 대응

  • Auto-focus
  • Mechanical clamping unit
  • Auto switching for suction area
オートキャリブレーション機能

오토 포커스 기능과 옵션 기구에 의해기판의 휨에 대응

오토 calibration 기능

  • Start
  • Change over time
  • After calibration
オートキャリブレーション機能

*Calibrate the alignment camera in the same way

장비를 멈추지 않고 정확한 패터닝을 실현

자동화대응

바코드 대응

  • バーコード対応

    Single side auto type

  • バーコード対応

    Double side auto type

Traceability control

Compatible with various barcodes

  • 1D code

    1Dコード
  • 2D code

    2Dコード 2Dコード

제조 공정 전체의 높은 이력관리를 실현

2D코드 인자기능

기판 뿐만이 아니라 피스마다 2 D코드를 부가 가능

자동화 대응

The idea of automation ...

arrow

Necessary information for automation

arrow

Job data and linked Recipe

arrow

Production info linked to the board

노광 공정의 무인화,스킬레스화를 실현