We also offer models* in sizes of up to 32 inches that retain the exposure quality of smaller sizes. These variants are also suitable for use in applications that involve metal masks that demand high render precision and large-format materials such as probe circuit boards.
*LI-7F-L
고분해능화의 효과
곡선이 매끄럽게 노광
묘화 샘플
L/S = 50/50μm
*This is a limited sample exposed under the conditions, whitch specified By SCREEN
L/S = 40/40μm
L/S = 8/8μm
*This is a limited sample exposed under the conditions, whitch specified By SCREEN
L/S = 7/7μm
8μm line
*This is a limited sample exposed under the conditions, whitch specified By SCREEN
7μm line
SRO = 80μm
*This is a limited sample exposed under the conditions, whitch specified By SCREEN
SRO = 40μm
Can be used even if it is not a Point symmetric figure and Any pattern can be used as an alignment mark.
3 파장 LED 광원
3 파장의 출력비를 자유자재로 컨트롤
3 파장 LED 광원
3 파장 출력비에 의해 SR Open 형상의 컨트롤이 가능
얼라이먼트 기능
マーク撮影時に
ステージを止めない
ステージの往路・復路で
マークを撮像する
隣りのマークもカメラ視野に
入れる場合一度に撮像
인접 마크 동시 촬영으로 한층 더 고속화도
얼라이먼트 기능
Global
Rectangle
Multiple points & Whole area
Linear
Curvw
Mark sharing
Sharing alignment mark
Multiple points & Individual area
Rectangle
Linear
다채로운 알고리즘으로 기판마다 최적인 위치 정도를 실현
오토 포커스 기능과 기판 휨 대응
오토 포커스 기능과 옵션 기구에 의해기판의 휨에 대응
오토 calibration 기능
*Calibrate the alignment camera in the same way
장비를 멈추지 않고 정확한 패터닝을 실현
바코드 대응
Single side auto type
Double side auto type
Compatible with various barcodes
제조 공정 전체의 높은 이력관리를 실현
2D코드 인자기능
기판 뿐만이 아니라 피스마다 2 D코드를 부가 가능
자동화 대응
The idea of automation ...
Necessary information for automation
Job data and linked Recipe
Production info linked to the board
노광 공정의 무인화,스킬레스화를 실현