针对FC-CSP等各种半导体封装用
基板最合适的直接成像系统
NEW Release支持大尺寸需求
该产品阵容在保持曝光质量的条件下最大支持32英寸的型号*。 也可用于金属掩模， 探针基板等对绘图精度有要求的大尺寸材料的用途。
*LI-7F-L
新世代的成像品质
高解析化效果
曲线更加平滑
产品效果示例
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L/S = 50/50μm
*This is a limited sample exposed under the conditions, whitch specified By SCREEN
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L/S = 40/40μm
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L/S = 8/8μm
*This is a limited sample exposed under the conditions, whitch specified By SCREEN
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L/S = 7/7μm
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8μm line
*This is a limited sample exposed under the conditions, whitch specified By SCREEN
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7μm line
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SRO = 80μm
*This is a limited sample exposed under the conditions, whitch specified By SCREEN
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SRO = 40μm
新型号具备图像对位(Design matching)功能, 能达到高精度的对位要求
Can be used even if it is not a Point symmetric figure and Any pattern can be used as an alignment mark.
自由搭配的3波长LED光源
3波长LED光源
可自由控制3波长输出比例
3波长LED光源
通过调整3波长输出比例，可控制SR开口的要求
多种模式对位方式
对位功能
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マーク撮影時に
ステージを止めない
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ステージの往路・復路で
マークを撮像する
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隣りのマークもカメラ視野に
入れる場合一度に撮像
摄像区域同时抓取相邻对位靶点, 让对位流程更高速完成
对位功能
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Global
Rectangle
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Multiple points & Whole area
Linear
Curvw
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Mark sharing
Sharing alignment mark
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Multiple points & Individual area
Rectangle
Linear
应用各式演算法以实现基板对位最佳化
自动对焦功能
支援自动对焦功能及翘板
- Auto-focus
- Mechanical clamping unit
- Auto switching for suction area
具备自动对焦功能及可选购配件以对应翘板
自动校正功能
- Start
- Change over time
- After calibration
*Calibrate the alignment camera in the same way
无需停机，也可实现精确的图像化
能对应自动化
支援条码应用
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Single side auto type
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Double side auto type
Traceability control
Compatible with various barcodes
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1D code
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2D code
实现整体制造过程的最佳追踪管理
2维码印刷功能
二维码不仅可印刷在整片基板上，更可以应用于每块拼板
支援自动化
The idea of automation ...
Necessary information for automation
Job data and linked Recipe
Production info linked to the board
实现曝光制程的自动化，简单化